[发明专利]具有应力解耦结构的微机械传感器有效
| 申请号： | 201780063195.6 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109843788B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | J·拜恩特纳;C·舍林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B3/00;B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L9/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 应力 结构 微机 传感器 | ||
1.微机械传感器(100)，该微机械传感器具有：
-衬底(10)；
-布置在所述衬底(10)上的第一功能层(20)；
-布置在所述第一功能层(20)上的第二功能层(30)，该第二功能层具有能运动的微机械结构(31)；
-在所述衬底(10)中布置在所述能运动的微机械结构(31)下方的空腔(11)；和
-围绕所述第二功能层(30)的所述能运动的微机械结构(31)环绕地构造并且延伸到所述衬底(10)中直至所述空腔(11)的、垂直的沟槽结构(40)，其中，在所述第一功能层(20)中构造并且由所述沟槽结构(40)限界的膜片垂直地和/或横向地锚固在所述衬底(10)上。
2.根据权利要求1所述的微机械传感器(100)，其特征在于，所述能运动的微机械结构(31)在所述第一功能层(20)上的固定元件和所述第一功能层(20)在所述衬底(10)上的固定元件(20d)基本上彼此叠置地布置。
3.根据权利要求1或2所述的微机械传感器(100)，其特征在于，所述空腔(11)借助APSM空穴或SON空穴或者借助cSOI衬底提供。
4.根据权利要求1或2所述的微机械传感器(100)，其特征在于，所述垂直的沟槽结构(40)借助桥接元件(20e)桥接。
5.根据权利要求4所述的微机械传感器(100)，其特征在于，所述桥接元件(20e)弹簧式地构造。
6.根据权利要求1或2所述的微机械传感器(100)，其特征在于，所述微机械传感器(100)构造为加速度传感器、转速传感器或压力传感器。
7.用于制造微机械传感器(100)的方法，所述方法具有以下步骤：
-提供具有构造在其中的空腔(11)的衬底(10)；
-将第一功能层(20)构造在所述衬底(10)上；
-将具有能运动的微机械结构(31)的第二功能层(30)构造在所述第一功能层(20)上，其中，所述能运动的微机械结构(31)在所述第二功能层(30)的区域中构造在所述空腔(11)上方；并且
-将垂直的沟槽结构(40)围绕所述能运动的微机械结构(31)构造到所述衬底中直至所述空腔(11)；并且
构造在所述第一功能层(20)中构造并且由所述沟槽结构(40)限界的膜片，所述膜片垂直地和/或横向地锚固在所述衬底(10)上。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述微机械传感器(100)构造为微机械转速传感器或构造为微机械加速度传感器或构造为微机械压力传感器。
9.根据权利要求7或8所述的方法，其中，在所述微机械传感器(100)具有多个功能单元的情况下，对于每个功能单元构造各自的垂直的沟槽结构(40)。
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