[发明专利]光谱特征控制装置

权利要求书

1.一种用于脉冲光学源的光谱特征选择装置，所述脉冲光学源产生脉冲光束，所述装置包括：

色散光学元件，被布置为与所述脉冲光束交互；

三个或更多个折射光学元件，被布置在所述色散光学元件与所述脉冲光学源之间的所述脉冲光束的路径中；

一个或多个致动系统，每个致动系统与折射光学元件相关联，并且被配置为旋转相关联的折射光学元件，从而调节所述脉冲光束的光谱特征；

所述致动系统中的至少一个致动系统是包括快速致动器的快速致动系统，所述快速致动器被配置为使其相关联的折射光学元件绕旋转轴线旋转，所述快速致动器包括旋转步进电机，所述旋转步进电机具有绕轴心线旋转的旋转轴，所述轴心线与所述相关联的折射光学元件的所述旋转轴线重合；其中与所述快速致动器相关联的所述折射光学元件的重心偏离所述轴心线；以及

控制系统，连接到所述一个或多个致动系统，所述控制系统被配置为向所述快速致动器发送信号，以调节所述旋转步进电机的所述旋转轴，从而使所述相关联的折射光学元件绕其旋转轴线旋转。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述快速致动器被配置为使距离所述色散光学元件最远的所述折射光学元件旋转。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述脉冲光束路径位于所述装置的XY平面中，并且所述旋转步进电机的所述旋转轴具有与所述装置的Z轴线平行的轴线，从而使所述相关联的折射光学元件绕其旋转轴线旋转，所述旋转轴线与所述装置的所述Z轴线平行。

4.根据权利要求1所述的装置，进一步包括位置监视器，所述位置监视器检测所述旋转步进电机的所述旋转轴的位置。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述控制系统被连接到所述位置监视器，并且被配置为接收检测的所述旋转轴的位置，并且如果所接收的检测到的位置不在可接受的位置范围内，则调节所述旋转轴。

6.根据权利要求4所述的装置，其中所述位置监视器是光学旋转编码器。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述轴心线被配置为旋转大约360°，从而使所述相关联的折射光学元件旋转大约360°。

8.根据权利要求1所述的装置，其中与所述快速致动器相关联的所述折射光学元件被固定地耦合到所述轴心线。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述控制系统包括连接到所述旋转步进电机的快速控制器，通过所述快速控制器执行对所述旋转轴的调节。

10.根据权利要求1所述的装置，其中与所述快速致动器相关联的所述折射光学元件的旋转引起与所述色散光学元件交互的所述脉冲光束的放大率的变化，所述脉冲光束的放大率的所述变化引起所述脉冲光束的带宽的变化，其中由于与所述快速致动器相关联的所述折射光学元件的所述旋转而导致的带宽的范围是至少250飞米(fm)。

11.根据权利要求10所述的装置，其中使与所述快速致动器相关联的所述折射光学元件旋转所述旋转轴的一个旋转单位引起所述脉冲光束的带宽改变小于带宽测量设备的分辨率的量，所述带宽测量设备测量所述脉冲光束的带宽。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述色散光学元件是衍射光学元件，所述衍射光学元件被布置为与处于自准式配置的脉冲光束交互，使得从所述衍射光学元件衍射的所述脉冲光束沿着入射在所述衍射光学元件上的所述脉冲光束的所述路径行进。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述折射光学元件是直角棱镜，所述脉冲光束被传输穿过所述直角棱镜，使得所述脉冲光束在其穿过每个直角棱镜时改变其放大率，其中距离所述色散光学元件最远的所述直角棱镜具有多个直角棱镜中的最小斜边，并且更靠近所述色散光学元件的每个连续的直角棱镜具有比更远离所述色散光学元件的相邻的直角棱镜更大或相同尺寸的斜边。