[发明专利]玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口搬入到腔室内的玻璃基板，支承该玻璃基板的下表面并且以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在所述搬运路径上的处理器所供给的处理气体对所述下表面实施蚀刻处理，之后将处理后的所述玻璃基板从搬出口向所述腔室外搬出，

该玻璃基板的制造方法的特征在于，

从配置在所述腔室内的比所述搬运路径靠上方侧且与实施蚀刻处理的所述下表面相反的一侧的吸引口向该腔室外进行排气。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在比所述处理器靠所述玻璃基板的搬运方向的下游侧，从所述吸引口向所述腔室外进行排气。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

作为所述处理器，使用如下的处理器：具备在上下隔着所述搬运路径而对置的上部构成体和下部构成体，并且，在所述下部构成体配备有向形成于所述上部构成体和所述下部构成体的相互之间的处理空间供给所述处理气体的供气口，并且，

在所述搬运路径上的所述处理器与所述搬出口之间配置有第一虚设处理器，该第一虚设处理器具有从所述搬运路径的下方与所述腔室外相连的排气口，并且，在从沿着搬运方向的方向观察时具有与所述处理器相同的外形。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在比所述第一虚设处理器靠所述玻璃基板的搬运方向的下游侧，从所述吸引口向所述腔室外进行排气。

5.根据权利要求3或4所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述搬运路径上的所述处理器与所述搬入口之间配置有第二虚设处理器，该第二虚设处理器具有从所述搬运路径的下方与所述腔室外相连的排气口，并且，在从沿着搬运方向的方向观察时具有与所述处理器相同的外形。