[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法

说明书

本发明涉及一种微机械构件，具有夹持装置(10)，借助至少一个线圈支架(12)保持的并且包括由至少一种导电材料制成的印制导线(22)的至少一个线圈绕组(14)，其中，所述至少一个线圈绕组(14)的至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，和能变换位置的部件(16)，其中，所述至少一个线圈支架(12)和所述能变换位置的部件(16)相互连接并且通过至少一个弹簧元件(18)与所述夹持装置(10)连接，使得所述能变换位置的部件(16)相对于所述夹持装置(10)围绕至少一个旋转轴线(20)能变换位置，并且其中，所述至少一个线圈绕组(14)的所述至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，而同一所述线圈绕组(14)的至少一个第二部分区段(14b)作为悬置的部分区段(14b)跨越在配属的线圈支架(12)中构造的至少一个中间空隙(24)。

技术领域

本发明涉及一种微机械构件。本发明同样涉及一种用于微机械构件的制造方法。

背景技术

在DE 10 2010 064 218 A1中描述一种可磁性驱动的微镜。微镜包括借助各一个线圈支架保持的两个线圈绕组和与所述两个线圈绕组连接的镜，其中，线圈绕组和镜通过两个弹簧与夹持装置这样连接，使得镜通过线圈绕组的通电和外部磁场的产生而相对于夹持装置围绕旋转轴线变换位置。

发明内容

本发明提出一种具有权利要求1的特征的微机械构件和具有权利要求15的用于微机械构件的制造方法。

通过将至少一个线圈绕组分别构造为具有至少一个悬置的部分区段的线圈绕组或通过将由所述至少一个悬置的部分区段跨越的至少一个中间空隙构造在至少一个配属的线圈支架中，可以减小所述至少一个线圈支架(关于旋转轴线而言)的惯性力矩。相应地，也减小微机械构件的可处于/已处于围绕旋转轴线的旋转运动中的质量的(关于旋转轴线而言的)(总)惯性力矩。(总)惯性力矩的降低减小根据本发明的微机械构件的能量消耗/能量需要，并且由此有助于简化该微机械构件的能量供应和它的可使用性的扩展。此外，(总)惯性力矩的降低引起能变换位置的部件围绕旋转轴线的谐振的振动运动的固有频率的增大，这经常使谐振的振动运动的有针对性的激发变简单(而并不同时激发处不期望的振动模式)。如下面更详细地阐释的那样，(总)惯性力矩的降低也有助于提升根据本发明的微机械构件的抗跌落性。

在微机械构件的有利的实施方式中，所述至少一个线圈绕组的所述至少一个悬置的部分区段包括至少一个线圈绕组部分区段，在该线圈绕组部分区段中印制导线的印制导线部分区段相比于相同线圈绕组的其他印制导线部分区段具有相对于旋转轴线的最大间距。因此，“节省”或“省去”所述至少一个线圈支架的至少一个部分区域，该部分区域由于它相对于旋转轴线的相对较大的间距会有助于显著地增大(总)惯性力矩。

优选地，所述至少一个线圈绕组的印制导线垂直地延伸超过至少一个棱边，该棱边构造在所述至少一个线圈支架的装备有所述至少一个线圈绕组的至少一个第一部分区段的至少一个支架面和相同线圈支架的限界相应相邻的中间空隙的外面之间。印制导线在相应的至少一个棱边上的这种垂直延伸有助于提升所述至少一个线圈绕组的稳定性。因此，至少在该实施方式中，对于借助本发明可产生的(关于旋转轴线而言的)(总)惯性力矩的降低不必承受所述至少一个线圈绕组的稳定性的降低。

在相同线圈绕组的两个相邻的印制导线之间的中间容积例如以至少一种电绝缘材料填充。借助填充到相邻的印制导线之间的所述至少一种电绝缘材料也可以提升线圈绕组的稳定性。

对此替代地或补充地，也可以在所述至少一个线圈绕组的朝着所述至少一个线圈支架定向的一侧上至少在所述至少一个线圈绕组的所述至少一个第一部分区段和相应配属的线圈支架之间构造电绝缘缓冲层。优选地，电绝缘缓冲层的至少一个悬置的部分区段在所述至少一个线圈绕组的所述至少一个悬置的部分区段处一起跨越所述至少一个中间空隙。这也有助于提升相应线圈绕组的稳定性。