[发明专利]电子束照射装置

说明书

本发明的电子束照射装置，是具备有电子枪和框体以及电子束射出窗的电子束照射装置。框体的杆部，具备有第1筒状构件、第2筒状构件、冷却气体流通空间以及壁构件。第1筒状构件，在前端侧的端部被设置有电子束射出窗，并使电子束通过其内部。第2筒状构件，包围第1筒状构件。冷却气体流通空间，为使从基端侧而被导入的冷却气体流通至前端侧的空间，并至少包含有被设置在第1筒状构件的外壁面和第2筒状构件的内壁面之间的冷却气体流路。壁构件，以将面向电子束射出窗的电子束射出侧的电子束射出空间和冷却气体流通空间隔开的方式设置。在壁构件，被设置有使冷却气体从冷却气体流通空间而朝向电子束射出空间喷出的冷却气体喷出孔。冷却气体喷出孔，具有比冷却气体流路的流路截面积小的流路截面积。

技术领域

本发明的一个侧面，有关于电子束照射装置。

背景技术

在现有技术中，已知有下述那样的电子束照射装置，其具备射出电子束的电子枪、和具有容纳电子枪的主体部以及以从主体部而突出的方式延伸的杆部的框体、以及被设置在杆部的前端部的电子束射出窗(例如，参考专利文献1、2)。

在专利文献1所记载的装置中，喷嘴构件(杆部)具有由内侧喷嘴筒体以及外侧喷嘴筒体所成的双重管构造。通过将冷却水供给至内侧喷嘴筒体和外侧喷嘴筒体之间，来谋求喷嘴构件的射出窗(电子束射出窗)附近的温度上升的抑制。在专利文献2所记载的装置中，处理头(杆部)被设为具备外侧框体和内侧框体的双重壁。通过将沿着外侧框体与内侧框体之间之间隙而流动的气体以会通过出口窗(电子束射出窗)的射出侧的方式来引导，而谋求出口窗的冷却。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/175065号

专利文献2：日本专利第5753047号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述电子束照射装置中，例如为了将杆部插入至容器内部并进行对于容器内部的直接性的电子束照射，杆部以从主体部而突出的方式来延伸。在此情况，也同样的，电子束射出窗的发热成为一个大的问题，而要求能够将电子束射出窗有效率地冷却。电子束射出窗，由于被设置在延伸的杆部的前端侧，因此被配置在从主体部而离开了的位置处。因此，仅通过由主体部所致的散热或冷却，并无法期待有将电子束射出窗冷却的效果，而期望能够在被设置有电子束射出窗的杆部自身具备冷却构造。

在上述专利文献1所记载的装置中，电子束射出窗，并非为被直接性地作冷却，而是通过使杆部的电子束射出窗附近被冷却，而被间接性地作冷却。因此，有着无法有效率地将电子束射出窗冷却的担忧。

在将电子束射出窗直接作冷却的情况时，可考虑使冷却气体与电子束射出窗接触而进行冷却。在此情况，为了将电子束射出窗有效率地作冷却，较理想，将进行接触的冷却气体的压力(动压)提高。但是，在上述专利文献2所记载的装置中，并未对于将冷却气体的压力提高一点作充分的考虑，而有着电子束射出窗的冷却效率并非为充分的担忧。

因此，本发明的一个侧面，其目的在于提供一种能够有效率地进行被设置于延伸的杆部的前端侧的电子束射出窗的冷却的电子束照射装置。

用以解决课题的手段