[发明专利]用于确定在流体介质中的颗粒的传感器元件

权利要求书

1.用于确定在流体介质中的颗粒的传感器元件(110)，该传感器元件尤其使用在机动车的排气系中，该传感器元件包括具有至少一个第一电极(122)和至少一个第二电极(124)的电极系统(120)，其中，所述第一电极(122)和所述第二电极(124)这样布置，使得通过测量所述第一电极(122)和所述第二电极(124)之间的电阻变化能够感测颗粒的积聚，

其中，所述电极系统(120)还具有至少一个面式电极(130)，其中，所述面式电极(130)与所述流体介质分隔开地布置。

2.根据前一权利要求所述的传感器元件(110)，其中，所述第一电极(122)和所述第二电极(124)梳形地构型并且分别具有多个电极指(126)，其中，所述第一电极(122)的电极指(126)和所述第二电极(124)的电极指(126)嵌入彼此。

3.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述传感器元件(110)具有层式构造(118)，其中，所述面式电极(130)布置在一个层平面中，该层平面比所述第一电极(122)和所述第二电极(124)更深地布置在所述传感器元件(110)中。

4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第一电极(122)的电极指(126)和所述第二电极(124)的电极指(126)共同展开一测量区域(125)，其中，所述面式电极(130)具有的面积至少为所述测量区域(125)的面积的一半。

5.根据前一权利要求所述的传感器元件(110)，其中，所述测量区域(125)垂直于所述测量区域(125)地到所述面式电极(130)的平面中的投影完全布置在所述面式电极(130)内部。

6.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述面式电极(130)通过至少一个电绝缘层(132)与所述第一电极(122)和所述第二电极(124)分隔开。

7.根据前一权利要求所述的传感器元件(110)，其中，所述电绝缘层(132)具有小于15微米的厚度。

8.根据前面两个权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述电绝缘层具有氧化铝。

9.根据前一权利要求所述的传感器元件(110)，其中，所述电绝缘层还具有至少一种掺杂材料，其中，所述电绝缘层的介电常数大于具有相同层厚度的纯氧化铝层的介电常数。

10.用于确定在流体介质中的颗粒的传感器设备(116)，该传感器设备尤其使用在机动车的排气系中，该传感器设备包括至少一个根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，该传感器设备还包括至少一个操控装置(114)，其中，所述操控装置(114)与所述电极系统(120)电连接并且具有至少一个测量设备(142)，该测量设备设置成用于测量在所述第一电极(122)和所述第二电极(124)之间的电阻，其中，所述操控装置(114)还具有至少一个诊断设备(144)，其中，所述诊断设备(144)设置成用于测量从一个组中选择出的至少一个诊断参数，该组包括在测量时在一方面所述面式电极(130)和另一方面从包括所述第一电极(122)和所述第二电极(124)的组中选择出的一个电极之间的电容和阻抗。

11.用于对用于确定在流体介质中的颗粒的传感器元件(110)进行自诊断的方法，其中，使用根据前述涉及传感器元件(110)的权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，诊断参数由一个组中选择出，该组包括在测量时在一方面所述面式电极(130)和另一方面从包括所述第一电极(122)和所述第二电极(124)的组中选择出的一个电极之间的电容和阻抗，并且由所述诊断参数推断出所述传感器元件(110)的功能性。