[发明专利]从联氨除去湿气的方法在审
| 申请号： | 201780068327.4 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110325260A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 清水秀治;马克·W·瑞农;丹尼尔·J·丹贝尔;罗宾·加德纳;小丹尼尔·阿尔瓦莱斯 | 申请（专利权）人： | 曼瑟森三汽油公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张全信;赵蓉民 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 湿气 气相沉积 联氨 化学气相沉积 高纯度气体 原子层沉积 前驱物 | ||
1.一种从联氨中除去湿气的方法，包括：
使含湿气的联氨接触清除剂，其中所述清除剂包含支持体，所述支持体与活性清除部分结合，所述活性清除部分选自由碱金属化合物、碱土金属化合物、金属氧化物、金属氢氧化物，以及硅基材料所组成的群组中的一个或多个。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述含湿气的联氨处于蒸气状态。
3.如权利要求2所述的方法，其中所述湿气的含量低于1ppm。
4.如权利要求2所述的方法，其中所述湿气的含量低于50ppm。
5.如权利要求2所述的方法，其中所述湿气的含量低于500ppb。
6.如权利要求2所述的方法，其中所述湿气的含量低于1ppb。
7.如权利要求1所述的方法，其中所述含湿气的联氨处于液体状态。
8.如权利要求7所述的方法，其中所述湿气的含量低于2440ppm。
9.如权利要求7所述的方法，其中所述湿气的含量低于100ppm。
10.如权利要求7所述的方法，其中所述湿气的含量低于30ppm。
11.如权利要求7所述的方法，其中所述湿气的含量低于5ppm。
12.如权利要求1所述的方法，其中所述支持体选自由安柏莱特树脂、碳基材料、氧化铝及二氧化硅所组成的群组。
13.如权利要求12所述的方法，其中所述碱金属化合物为氨基锂。
14.如权利要求12所述的方法，其中所述金属氧化物的化学式为MxOy，其中所述金属选自由钠、钾、锂、铷、铯、镁、钙、锶和钡所组成的群组，且x是1至6的整数，y是1至12的整数。
15.如权利要求12所述的方法，其中所述金属氢氧化物的化学式为M(OH)x，其中所述金属选自由钠、钾、锂、铷、铯、镁、钙、锶和钡所组成的群组，且x是1至14的整数。
16.如权利要求12所述的方法，其中所述硅基材料包含具有氧化铝支持体的二氧化硅，其中二氧化硅与氧化铝的摩尔数比值大于800。
17.如权利要求13所述的方法，其中所述氨基锂分布在所述支持体上，所述支持体的表面积为750至820m2/g，孔体积为0.6至1.5ml/g。
18.如权利要求14所述的方法，其中所述金属氧化物分布在所述支持体上，所述支持体的表面积为200至230m2/g，孔体积为0.4至0.8ml/g。
19.如权利要求15所述的方法，其中所述金属氢氧化物分布在所述支持体上，所述支持体的表面积为200至230m2/g，孔体积为0.4至0.8ml/g。
20.如权利要求16所述的方法，其中所述氧化铝的表面积为280至330m2/g，孔体积为1.0至1.5ml/g。
21.如权利要求2所述的方法，使所述处于蒸气状态的含湿气的联氨与所述清除剂接触后，所述湿气含量降低到少于1ppm。
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