[发明专利]传感器以及操作传感器的方法

权利要求书

1.一种传感器，包括：

具有第一表面的衬底；

连接到所述衬底的盖结构，所述盖结构配置成限定所述盖结构的内表面与所述衬底的所述第一表面之间的腔体，所述盖结构包括红外不透明材料，该红外不透明材料配置成阻挡红外辐射从所述盖结构的外部进入所述腔体；

多个吸收器，所述多个吸收器中的每一个吸收器连接到相应电极，所述电极使相应吸收器在所述腔体内的相应位置处悬浮在所述衬底的所述第一表面上方以便使相应的吸收器与所述衬底热学隔离，并且所述多个吸收器中的每一个吸收器配置成吸收所述腔体内的所述相应位置处的红外辐射；以及

多个读出电路，所述多个读出电路中的每一个读出电路经由相应电极连接到所述多个吸收器中的相应吸收器，并且配置成提供指示由所述相应吸收器吸收的红外辐射量的测量信号。

2.权利要求1所述的传感器，还包括：

配置成加热所述盖结构的受热部分的加热元件，所述多个吸收器中的每一个吸收器在邻近于所述盖结构的所述受热部分的所述盖结构的部分附近布置在所述腔体中。

3.权利要求2所述的传感器，其中：

所述多个吸收器中的第一吸收器在从所述盖结构的受热部分的第一方向上在邻近于所述盖结构的受热部分的所述盖结构的部分附近布置在所述腔体中；并且

所述多个吸收器中的第二吸收器在从所述盖结构的受热部分的第二方向上在邻近于所述盖结构的受热部分的所述盖结构的部分附近布置在所述腔体中，所述第二方向与所述第一方向相反。

4.权利要求3所述的传感器，其中：

所述多个吸收器中的第三吸收器在从所述盖结构的受热部分的第三方向上在邻近于所述盖结构的受热部分的所述盖结构的部分附近布置在所述腔体中，所述第三方向垂直于所述第一方向；并且

所述多个吸收器中的第四吸收器在从所述盖结构的受热部分的第四方向上在邻近于所述盖结构的受热部分的所述盖结构的部分附近布置在所述腔体中，所述第四方向与所述第三方向相反。

5.权利要求2所述的传感器，其中所述多个吸收器中的所述吸收器布置在围绕所述盖结构的所述受热部分对称布置的所述盖结构的部分附近。

6.权利要求1所述的传感器，还包括：

可操作连接到所述多个读出电路中的每一个读出电路的控制器，所述控制器配置成：

从所述多个读出电路中的每一个读出电路接收所述测量信号；并且

确定在所述盖结构附近流动的流体的流动特性，所述测量信号来自所述多个读出电路中的至少两个读出电路。

7.权利要求6所述的传感器，所述控制器还配置成：

基于来自连接到所述多个吸收器中的第一吸收器的所述多个读出电路中的所述读出电路的所述测量信号，检测到第一红外辐射量被所述第一吸收器吸收；

基于来自连接到所述多个吸收器中的第二吸收器的所述多个读出电路中的所述读出电路的所述测量信号，检测到第二辐射量被所述第二吸收器吸收；并且

基于第一量和第二量的比较而确定所述流体在哪个方向上在所述第一吸收器与所述第二吸收器之间流动。

8.权利要求6所述的传感器，所述控制器还配置成：

基于来自连接到所述多个吸收器中的第一吸收器的所述多个读出电路中的所述读出电路的所述测量信号，检测到由所述第一吸收器吸收的红外辐射量在第一时间点处开始改变；

基于来自连接到所述多个吸收器中的第二吸收器的所述多个读出电路中的所述读出电路的所述测量信号，检测到由所述第二吸收器吸收的红外辐射量在第二时间点处开始改变；并且

基于所述第一时间点和所述第二时间点的比较而确定所述流体在哪个方向上在所述第一吸收器到所述第二吸收器之间流动。