[发明专利]通过跨层图像相减的晶片噪声减少

权利要求书

1.一种用于多层晶片中的缺陷识别的系统，其包括：

图像数据采集子系统；及

控制器，其与所述图像数据采集子系统电子通信，其中所述控制器包含经配置以执行一或多个软件模块的处理器，所述一或多个软件模块经配置以：

接收第一晶片图像及第二晶片图像，其中所述第一晶片图像是所述多层晶片的第一晶片层的图像，其中所述第二晶片图像是安置于所述多层晶片的所述第一晶片层上的第二晶片层的图像，且其中所述第二晶片图像及所述第一晶片图像在所述多层晶片上的相同平面位置处；

计算所述第一晶片图像与所述第二晶片图像之间的第一差异图像，由此减少晶片噪声；及

基于所述第一差异图像识别一或多个缺陷；

所述一或多个软件模块进一步经配置以：

接收对应于所述第一晶片层的在所述多层晶片上不同于所述第一晶片图像及所述第二晶片图像的平面位置处的第一参考图像；

计算所述第一参考图像与所述第一晶片图像之间的第二差异图像；

接收对应于所述第二晶片层的在所述多层晶片上不同于所述第一晶片图像及所述第二晶片图像的平面位置处的第二参考图像；

计算所述第二参考图像与所述第二晶片图像之间的第三差异图像；及

计算所述第二差异图像与所述第三差异图像之间的第四差异图像；

所述一或多个软件模块进一步经配置以比较所述第四差异图像与所述第一差异图像以验证所述一或多个缺陷的存在。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述图像数据采集子系统经配置以执行晶片扫描。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个软件模块进一步经配置以：

比较所述第一晶片图像与所述第二晶片图像之间的对比度差异；及

如果所述对比度差异超过预定阈值，那么将动态补偿应用于所述第一晶片图像或所述第二晶片图像。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个软件模块进一步经配置以基于晶片设计文件对准所述第二晶片图像与所述第一晶片图像。

5.根据权利要求1所述的系统，其中第一晶片扫描是对所述第一晶片层的整个表面的扫描，其中所述第一晶片图像仅为整个所述表面的一部分，且其中所述一或多个软件模块进一步经配置以基于所述第二晶片图像的所述平面位置选择整个所述表面的一部分。