[发明专利]确定基板的表面轮廓的方法、装置和系统

权利要求书

1.一种用于确定基板的表面轮廓的方法，包括以下步骤：

使用第一发射器，从沿着所述基板的第一侧的第一位置跨所述基板的顶表面投射具有垂直轮廓的信号；

使用第一接收器，从所述第一位置在沿着所述基板的第二侧的对应位置处捕捉所述经投射的信号，所述第二侧定位在所述基板的所述表面的对面；

沿着所述基板的所述第一侧，在与所述基板的所述顶表面基本上平行的方向上将所述第一发射器线性移动到至少第二位置；

从所述至少第二位置跨所述基板的所述顶表面投射所述信号；

在与所述第一发射器相同的方向上线性移动所述第一接收器，并使用所述第一接收器从所述至少第二位置在沿着所述基板的所述第二侧的对应位置处捕捉所述经投射的信号，所述第二侧定位在所述基板的所述表面的对面；和

使用所述捕捉到的信号来确定所述基板的表面轮廓。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述经投射的信号包括激光束，所述激光束包括垂直激光柱。

3.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

在沿着所述基板的所述第二侧的位置处捕捉所述经投射信号中的对应的信号，所述位置定位在沿着所述基板的所述第一侧的位置的正对面，对应的信号是从所述基板的所述第一侧的所述位置投射的。

4.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

通过评估所述捕捉步骤的每个位置处的所述经投射信号中的遮断来确定所述基板的表面轮廓。

5.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

预先确定用于捕捉所述经投射信号的位置；和

跨所述基板的所述表面的至少一部分自动执行所述投射和捕捉步骤。

6.如权利要求5所述的方法，包括以下步骤：

由用户使用控制器上的人机界面来确定所述投射位置；和

使用所述控制器来定位用于所述投射和捕捉步骤的传感器。

7.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

在显示器上绘制所述捕捉到的信号的表示，以呈现所述基板的所述表面轮廓的表示。

8.一种用于确定基板的表面轮廓的装置，包括：

第一传感器对，所述第一传感器对包括：

第一发射器，所述第一发射器用以从沿着所述基板的第一侧的多个位置跨所述基板的顶表面投射具有垂直轮廓的信号；和

第一接收器，所述第一接收器用以在沿着所述基板的第二侧的多个对应位置中的每个位置处捕捉所述经投射的信号，所述第二侧定位在所述基板的所述表面的对面；

第一轨道组件，所述第一轨道组件用以跨所述基板的所述表面的至少一部分将所述第一传感器对移动到沿着所述基板的所述第一侧的所述多个位置并同时移动到沿着所述基板的所述第二侧的所述多个对应位置中的每一个，所述第二侧定位在所述基板的所述表面的对面；

第一编码器，所述第一编码器用以确定与所述第一传感器对相关联的位置信息；和

基板支撑件，所述基板支撑件用以支撑所述基板；

其中所述第一接收器向控制器传递与来自所述第一发射器的所述捕捉到的信号相关联的信息，并且所述第一编码器向所述控制器传递要由所述控制器使用的所述第一传感器对的所述经确定的位置信息，以使用与所述捕捉到的信号相关联的所述信息以及所述位置信息来确定所述基板的表面轮廓。