[发明专利]吹扫储料器有效
申请号: | 201780072480.4 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN109983568B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 藤原义明;佐野豪一;德本光哉 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;田军锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吹扫储 料器 | ||
吹扫储料器具有多个包含通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架的架区域。吹扫储料器具备:针对每个架区域调整吹扫气体向多个吹扫架供给的供给流量的流量调整部、输送储存容器的输送装置、和对由输送装置进行的储存容器的输送进行控制的控制部。控制部在分布有大于或等于一个架区域所含的吹扫架的架数亦即规定架数的空架的情况下,以新形成所含的多个吹扫架全部为空架的空架区域的方式,执行通过输送装置移送储存容器的换架控制。
技术领域
本发明涉及吹扫储料器。
背景技术
以往,公知有一种吹扫储料器,具备:通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架、进行吹扫气体的流量调整的流量调整部、输送储存容器的输送装置、和对由输送装置进行的储存容器的输送进行控制的控制部(例如,参照专利文献1)。这样的吹扫储料器具有多个包含多个吹扫架的架区域。流量调整部针对每个架区域调整吹扫气体向多个吹扫架供给的供给流量。
专利文献1:国际公开第2015/194255号
在上述那样的吹扫储料器中,例如为了减少运行成本,期望抑制吹扫气体的使用量。
发明内容
因此,本发明的一个方面的目的在于,提供一种能够抑制吹扫气体的使用量的吹扫储料器。
本发明的一个方面的吹扫储料器具有多个架区域,该架区域包含通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架,该吹扫储料器具备:针对每个架区域调整吹扫气体向多个吹扫架供给的供给流量的流量调整部、输送储存容器的输送装置、和对由输送装置进行的储存容器的输送进行控制的控制部,在分布有大于或等于一个架区域所含的吹扫架的架数亦即规定架数的空架的情况下,控制部执行通过输送装置移送储存容器的换架控制,以新形成所含的多个吹扫架全部为空架的空架区域。
在该结构的吹扫储料器中,执行换架控制,由此新形成空架区域。该空架区域内的多个吹扫架全部为空架,因此能够无需向该多个吹扫架供给吹扫气体。由此,流量调整部能够降低吹扫气体相对于空架区域所含的多个吹扫架的供给流量。因此,能够抑制吹扫气体的使用量。
在本发明的一个方面的吹扫储料器中,也可以是,在存在2个以上包含已经载置有储存容器的吹扫架和空架的架区域,且这2个以上的架区域所含的空架的总数大于或等于规定架数的情况下,控制部认为分布有大于或等于规定架数的空架,执行换架控制。根据该结构,能够有效地判断分布有大于或等于规定架数的空架的情况。
在本发明的一个方面的吹扫储料器中,也可以是,控制部在执行了换架控制的情况下,停止向通过该换架控制新形成的空架区域所含的多个吹扫架的供给吹扫气体。根据该结构,能够进一步抑制吹扫气体的使用量。
在本发明的一个方面的吹扫储料器中,也可以是,控制部基于操作人员的操作输入,选择换架控制中的储存容器的移送目的地的架区域,在换架控制中,通过输送装置向选择出的架区域所含的吹扫架移送储存容器。根据该结构,能够对吹扫储料器内的吹扫架的使用率进行操作。
在本发明的一个方面的吹扫储料器中,也可以是,控制部按规定顺序变更换架控制中的储存容器的移送目的地的架区域。根据该结构,能够抑制一部分的吹扫架的使用频次高企,从而能够抑制维护作业的频次。
在本发明的一个方面的吹扫储料器中,也可以是,控制部通过输送装置使新入库的储存容器优先向多个架区域中的包含已经载置有储存容器的吹扫架的架区域的空架入库。根据该结构,能够以在吹扫储料器内不易分布有空架的方式使储存容器新入库,从而能够抑制换架控制的执行,因此能够抑制输送装置的动作频次。
本发明的一个方面的吹扫储料器也可以具有多个包含邻接的多个架区域的架组,当在某一个架组内分布有大于或等于规定架数的空架的情况下,控制部以在该一个架组内新形成空架区域的方式通过输送装置在该一个架组内的多个吹扫架之间移送储存容器。根据该结构,与在多个架组之间移送储存容器的情况相比,能够抑制输送装置的动作量。
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