[发明专利]光学级表面处理工具

说明书

一种工具，包括：基部(11)，所述基部包括刚性保持架(12)和环绕所述刚性保持架(12)的柔性套环(13)；可弹性压缩接口(16)；柔性压模(20)，所述柔性压模包括与刚性保持架(12)垂直的中央部分(24)和横向地位于所述刚性保持架之外的周边部分(25)。所述周边部分(25)仅经由通过接口(16)和所述套环(13)连接到所述保持架(12)，其中套环(13)被构造为使得工具(10)在没有受力时采取的静止位置与参考位置之间可弹性变形，在所述参考位置，所述柔性压模(20)的第二横向端面(22)压靠在球面的并且半径包含在40mm与1500mm之间的参考表面(40)上。

技术领域

本发明涉及对表面的光学级表面处理，所述表面是比如眼科镜片的面、或相机镜头的面或旨在观察远处物体的仪器的面或者甚至是半导体衬底的面。

表面处理是指旨在改变先前产生的表面的光洁度的任何操作。特别是抛光、精细加工或粗糙化操作的问题是旨在改变(降低或增加)表面的粗糙度和/或降低其波纹度。

背景技术

本领域技术人员尤其从日本专利申请2000-317797、对应于美国专利申请2005/0101235的法国专利申请2834662、法国专利申请2857610、对应于美国专利申请2006/0154581；对应于美国专利申请2008/0171502的法国专利申请2900356、对应于美国专利申请2010/0178858的法国专利申请2918911、对应于美国专利申请2011/0136416的法国专利申请2935627、对应于美国专利申请2011/0136415的法国专利申请2935628、对应于美国专利申请2012/0231713的法国专利申请2953433已经知晓一种用于对光学表面进行表面处理的工具，所述工具包括：刚性保持架，所述刚性保持架具有横向端面；可弹性压缩接口，所述可弹性压缩接口附接到所述刚性保持架并且具有第一横向端面、第二横向端面和从第一端面的周边延伸到第二端面的周边的侧表面，所述接口的所述第一端面抵靠在所述刚性保持架的所述端面上并覆盖所述端面；柔性压模，所述柔性压模能够抵靠在光学表面上并且抵靠至少部分地覆盖接口的第二端面，所述第二端面与所述刚性保持架的所述端面相对并垂直。

为了降低光学表面的粗糙度，使工具与光学表面接触，同时通过工具在光学表面上保持足够的压力，从而通过接口的变形，压模匹配光学表面的形状。

当光学表面被喷射流体时，它被驱动以相对于工具移动，使得光学表面完全被工具扫描。

通常，光学表面被驱动旋转，光学表面与工具之间的摩擦足以共同驱动工具旋转，操作期间的可变偏心度确保所述相对运动和所述扫描。

表面处理操作需要磨料，所述磨料可以被包含在压模中或流体中。

在表面处理过程，所述可弹性压缩接口使得能够补偿在所述工具的保持架的端面与所述光学表面之间的曲率差。

发明内容

本发明的目的是提供一种表面处理工具，所述表面处理工具在生产率和所获得的外观质量方面是有效的，同时仍然是简单、方便且制造经济的。

为此，提出一种光学级表面处理工具，包括：

-基部，所述基部包括刚性保持架和环绕所述刚性保持架的柔性套环，所述刚性保持架具有横向端面，并且所述套环具有与所述刚性保持架的横向端面位于同一侧的横向端面；

-可弹性压缩接口，所述可弹性压缩接口包括第一横向端面、第二横向端面和从所述第一横向端面的周边延伸到所述第二横向端面的周边的侧表面，所述可弹性压缩接口的第一横向端面附接到所述刚性保持架的横向端面和所述套环的横向端面；以及

-柔性压模，所述柔性压模具有附接到所述可弹性压缩接口的第二横向端面上的第一横向端面和被构造为抵靠在待加工表面上的第二横向端面，所述压模包括与所述刚性保持架的横向端面垂直定位的中央部分和横向地位于此横向端面之外的周边部分；