[发明专利]透明AlN烧结体及其制法有效

专利信息
申请号: 201780073409.8 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN110072826B 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 小林义政;小林博治;饭田和希;大和田岩 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: C04B35/581 分类号: C04B35/581;C04B35/645
代理公司: 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 代理人: 王轶;郑雪娜
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 透明 aln 烧结 及其 制法
【权利要求书】:

1.一种透明AlN烧结体的制法,其中,包括:

第一工序,该工序中,在包含板面为c面、纵横尺寸比为3以上的板状AlN粉末的AlN原料粉末中混合烧结助剂,得到混合物,将该混合物成型,制作成型体,且该工序中,以所述板状AlN粉末的板面沿着所述成型体的表面的方式将所述混合物成型;

第二工序,该工序中,对所述成型体的表面进行加压,同时,在非氧化气氛下,对所述成型体进行热压烧成,得到取向AlN烧结体;以及

第三工序,该工序中,在非氧化气氛下,对所述取向AlN烧结体进行常压烧成,除去源自于所述烧结助剂的成分,由此,得到透明AlN烧结体,

所述板状AlN粉末的平均厚度为0.05~1.8μm。

2.根据权利要求1所述的透明AlN烧结体的制法,其中,

所述第一工序中,所述板状AlN粉末中所包含的粒子分离而没有凝聚。

3.根据权利要求1或2所述的透明AlN烧结体的制法,其中,

所述第一工序中,将所述混合物成型为片状而得到流延成型体,将多个该流延成型体层叠,制成层叠成型体,

所述第二工序中,对所述层叠成型体进行热压烧成。

4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法,其中,

所述AlN原料粉末除了包含所述板状AlN粉末以外,还包含球状AlN粉末。

5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法,其中,

所述烧结助剂为Ca与Al的复合氧化物、或稀土氧化物。

6.根据权利要求1~5中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法,其中,

所述板状AlN粉末的平均粒径为2~20μm。

7.一种多晶结构的透明AlN烧结体,所述多晶结构的透明AlN烧结体是通过权利要求1~6中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法制造得到的,其中,

利用Lotgering法得到的c面取向度为70%以上,波长450nm处的直线透过率为48%以上。

8.根据权利要求7所述的透明AlN烧结体,其中,

所述c面取向度为95%以上,所述直线透过率为60%以上。

9.根据权利要求7或8所述的透明AlN烧结体,其中,

所述透明AlN烧结体的相对密度为99.1%以上。

10.根据权利要求7~9中的任意一项所述的透明AlN烧结体,其中,

Al以及烧结助剂以外的、没有发生固溶而在晶界发生了偏析的杂质金属的浓度为40质量ppm以下。

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