[发明专利]透明AlN烧结体及其制法有效
申请号: | 201780073409.8 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN110072826B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 小林义政;小林博治;饭田和希;大和田岩 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | C04B35/581 | 分类号: | C04B35/581;C04B35/645 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 aln 烧结 及其 制法 | ||
1.一种透明AlN烧结体的制法,其中,包括:
第一工序,该工序中,在包含板面为c面、纵横尺寸比为3以上的板状AlN粉末的AlN原料粉末中混合烧结助剂,得到混合物,将该混合物成型,制作成型体,且该工序中,以所述板状AlN粉末的板面沿着所述成型体的表面的方式将所述混合物成型;
第二工序,该工序中,对所述成型体的表面进行加压,同时,在非氧化气氛下,对所述成型体进行热压烧成,得到取向AlN烧结体;以及
第三工序,该工序中,在非氧化气氛下,对所述取向AlN烧结体进行常压烧成,除去源自于所述烧结助剂的成分,由此,得到透明AlN烧结体,
所述板状AlN粉末的平均厚度为0.05~1.8μm。
2.根据权利要求1所述的透明AlN烧结体的制法,其中,
所述第一工序中,所述板状AlN粉末中所包含的粒子分离而没有凝聚。
3.根据权利要求1或2所述的透明AlN烧结体的制法,其中,
所述第一工序中,将所述混合物成型为片状而得到流延成型体,将多个该流延成型体层叠,制成层叠成型体,
所述第二工序中,对所述层叠成型体进行热压烧成。
4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法,其中,
所述AlN原料粉末除了包含所述板状AlN粉末以外,还包含球状AlN粉末。
5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法,其中,
所述烧结助剂为Ca与Al的复合氧化物、或稀土氧化物。
6.根据权利要求1~5中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法,其中,
所述板状AlN粉末的平均粒径为2~20μm。
7.一种多晶结构的透明AlN烧结体,所述多晶结构的透明AlN烧结体是通过权利要求1~6中的任意一项所述的透明AlN烧结体的制法制造得到的,其中,
利用Lotgering法得到的c面取向度为70%以上,波长450nm处的直线透过率为48%以上。
8.根据权利要求7所述的透明AlN烧结体,其中,
所述c面取向度为95%以上,所述直线透过率为60%以上。
9.根据权利要求7或8所述的透明AlN烧结体,其中,
所述透明AlN烧结体的相对密度为99.1%以上。
10.根据权利要求7~9中的任意一项所述的透明AlN烧结体,其中,
Al以及烧结助剂以外的、没有发生固溶而在晶界发生了偏析的杂质金属的浓度为40质量ppm以下。
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