[发明专利]用于照射定义表面的装置有效
申请号: | 201780073873.7 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN110036313B | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | U.施特雷佩尔 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
主分类号: | G02B3/08 | 分类号: | G02B3/08;F21V5/04;H01L33/58;G02B19/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张涛;申屠伟进 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 照射 定义 表面 装置 | ||
1.一种用于改善均匀照射预定表面区域(3)中的对称性的装置,所述装置具有发射辐射的光电子组件(1)和菲涅耳光学器件(2),其中,所述菲涅耳光学器件(2)包括具有环形脊部(15、17、18、19)和环形凹部(16、20、21、22)的菲涅耳结构(8),其中所述脊部(15、17、18、19)被配置成闭合环,其中所述脊部(15、17、18、19)和所述凹部(16、20、21、22)包围所述菲涅耳结构(8)的光学中轴(10),其中脊部(15、17、18、19)的至少一个第一分段(81、82、83、84)在相对于所述中轴(10)的预定角度范围中具有与所述脊部(15、17、18、19)在相对于所述中轴(10)的第二角度范围中的第二分段(81、82、83、84)不同的形状,其中,所述菲涅耳结构(8)的所述脊部(15、17、18、19)包括在通过所述中轴(10)的平面的横截面中的内表面和外表面(41),所述内表面在径向方向上面向所述中轴(10),所述外表面(41)在所述径向方向上背离所述中轴(10),至少一个脊部(15、17、18、19)的外表面(41)在相对于所述中轴(10)的两个预定角度范围中具有相对于所述中轴(10)的不同角度(46),
任意两个脊部(15、17、18、19)的外表面(41)在相对于所述中轴(10)的预定角度范围中具有相对于所述中轴(10)的不同角度(46),在所述径向方向上距所述中轴更远的脊部(15、17、18、19)包括具有与另一个脊部(15、17、18、19)的外表面(41)相比相对于所述中轴(10)的更大角度(46)的外表面(41),所述另一个脊部(15、17、18、19)被布置得在所述径向方向上更靠近所述中轴(10),
其中,在两个角度范围中关于通过所述中轴(10)的第一主轴(11)镜像对称地布置脊部(15、17、18、19)的至少两个分段(81、82、83、84)的外表面(41),所述第一主轴(11)垂直地延伸通过所述中轴(10)。
2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述脊部(15、17、18、19)相对于所述中轴(10)的两个分段(81、82、83、84)具有距所述中轴(10)的至少两个不同的径向距离(26、27、29、30、32、33)和/或不同的曲率半径(90)。
3.根据权利要求2所述的装置,其中,至少一个第二脊部(15、17、18、19)的至少两个分段(81、82、83、84)在相对于所述中轴(10)的至少两个角度范围中具有距中轴(10)的不同的径向距离(26、27、29、30、32、33)和/或不同的曲率半径。
4.根据权利要求1所述的装置,其中,在至少两个角度范围中关于通过所述中轴(10)的第二主轴(12)镜像对称地布置所述至少一个脊部(15、17、18、19)的至少两个分段(81、82、83、84),所述第二主轴(12)垂直于所述第一主轴(11)并垂直于所述中轴(10)。
5.根据权利要求2所述的装置,其中,在两个相邻的角度范围之间提供过渡角度范围,一个脊部(15、17、18、19)的各分段(81、82、83、84)的不同径向距离(26、27、29、30、32、33)和曲率半径(90)在所述过渡角度范围中彼此合并。
6.根据权利要求5所述的装置,其中,一个脊部(15、17、18、19)的各分段(81、82、83、84)的不同径向距离(26、27、29、30、32、33)和曲率半径(90)在所述过渡角度范围中连续地彼此合并。
7.根据权利要求1所述的装置,其中,在两个相邻的角度范围之间提供过渡角度范围,一个脊部(15、17、18、19)的分段(81、82、83、84)的外表面的不同角度(46)在所述过渡角度范围中彼此合并。
8.根据权利要求7所述的装置,其中,一个脊部(15、17、18、19)的分段(81、82、83、84)的外表面的不同角度(46)在所述过渡角度范围中连续地彼此合并。
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