[发明专利]测试系统

权利要求书

1.一种测试系统，是实施被试验设备的电特性试验的测试系统，具备：

载置台，载置所述被试验设备；

搬送机构，按照用于将所述被试验设备载置于所述载置台的第一工作站、用于实施所述电特性试验的第二工作站、以及用于将所述被试验设备从所述载置台搬出的第三工作站的顺序搬送所述载置台；

测试头，设置于所述第二工作站，包含用于进行所述电特性试验的测定电路；

探测器，用于将所述被试验设备的电极连接于所述测定电路；

升降机构，使所述载置台沿着第一方向移动，由此使所述电极与所述探测器接触或者分离；

对准机构，被设置于所述测试头，在与所述第一方向交叉的平面上使所述探测器移动，由此进行所述探测器与所述电极在所述平面中的对位；

第一拍摄装置，在所述第一工作站中，对被载置于所述载置台的所述被试验设备进行拍摄；以及

控制装置，控制所述测试系统，

所述控制装置在由所述第一拍摄装置拍摄到的所述被试验设备的图像亦即设备图像中，检测所述被试验设备的对准标记距离基准对准标记的第一偏移量，通过所述对准机构使所述探测器移动，以使所述第一偏移量成为0，

所述基准对准标记是被赋予给基准被试验设备的对准标记，所述基准被试验设备以在所述探测器被设定为基准位置以及基准旋转角度的情况下能够由所述探测器进行电特性测定的姿势载置于所述载置台，

在进行所述探测器与所述电极的对位之后，所述搬送机构将停止在所述第一工作站的所述载置台向所述第二工作站移动。

2.根据权利要求1所述的测试系统，其中，

探测器保持器，以能够装卸的方式保持所述探测器；以及

第二拍摄装置，拍摄所述探测器，

所述对准机构基于由所述第二拍摄装置拍摄到的所述探测器的图像亦即探测器图像来进行所述对位。

3.根据权利要求2所述的测试系统，其中，

所述控制装置在所述探测器图像中，检测所述对准标记距离所述基准对准标记的第二偏移量，通过所述对准机构使所述探测器移动，以使所述第二偏移量成为0。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的测试系统，其中，

所述对准机构能够沿规定所述平面的第二方向以及第三方向移动所述探测器，并且能够以所述第一方向为轴来将所述探测器旋转。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的测试系统，其中，

所述升降机构设置于所述第二工作站，使停止于所述第二工作站的所述载置台沿着所述第一方向移动。

6.根据权利要求4所述的测试系统，其中，

所述升降机构设置于所述第二工作站，使停止于所述第二工作站的所述载置台沿着所述第一方向移动。