[发明专利]用于抛光有机膜的浆料组合物和使用其抛光有机膜的方法

权利要求书

1.一种浆料组合物用于抛光有机膜的用途，所述浆料组合物包括：

0.001wt％至15wt％的氧化剂；

0.02wt％至0.5wt％的有机酸；

0.0001wt％至0.4wt％的抛光促进剂，其包含衍生自马来酸或马来酸酐的重复单元；和

余量的水，

其中所述抛光促进剂是包含马来酸或马来酸酐的单体混合物的共聚物，所述单体混合物包括40wt％至100wt％的所述马来酸或所述马来酸酐，

其中所述抛光促进剂与所述有机酸以1:1.5至1:100的重量比存在，

其中所述有机膜的碳含量为70原子％或更高。

2.根据权利要求1所述的用途，其中所述抛光促进剂的重均分子量为100至10,000。

3.根据权利要求1所述的用途，其中所述氧化剂包括铁卤盐、硝酸铁、硫酸铁和磷酸铁中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的用途，其中所述有机酸包含一个羧基。

5.根据权利要求1所述的用途，其中所述有机酸包括乳酸、甲酸、乙酸和丙酸中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的用途，其中所述氧化剂与所述有机酸以7.5:1至1.5:1的重量比存在。

7.根据权利要求1所述的用途，其中使用所述浆料组合物在浆料流速为200mL/min、压缩压力为1psi、压板速度为100rpm且头速度为90rpm的条件下进行抛光时，所述浆料组合物允许或更高的抛光速率。

8.根据权利要求1所述的用途，其中所述浆料组合物不含抛光颗粒。

9.一种使用权利要求1至8中任一项所述的浆料组合物抛光有机膜的方法。