[发明专利]用于检查样本的方法、带电粒子束装置和多柱显微镜

权利要求书

1.一种用于检查样本的方法，在带电粒子束装置中由初级带电粒子小束阵列检查样本，所述带电粒子束装置具有光轴，所述光轴在所述带电粒子束装置的z方向中延伸，所述方法包含以下步骤：

由带电粒子束发射器产生初级带电粒子束；

由所述带电粒子束发射器直接照射多孔透镜板，所述多孔透镜板具有表面，其中所述初级带电粒子束用于产生聚焦的所述初级带电粒子小束阵列；

通过至少第一电极在所述多孔透镜板的所述表面上产生电场，所述第一电极具有一个孔开口，所述初级带电粒子束或所述初级带电粒子小束通过所述一个孔开口；

其中由所述至少第一电极提供的所述电场的z方向中的场分量为非旋转对称的；和

由物镜将所述初级带电粒子小束聚焦在所述样本上的个别位置上，以同时在所述个别位置处检查所述样本。

2.如权利要求1所述的方法，其中通过至少所述第一电极在所述多孔透镜板的所述表面上产生所述电场包含：所述第一电极产生所述电场。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述至少第一电极在所述初级带电粒子小束的传播方向中布置在所述孔透镜板之前，或者其中所述至少第一电极在所述初级带电粒子小束的传播方向中布置在所述孔透镜板之后。

4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其中由所述至少第一电极提供的所述电场的非旋转对称z分量，是由所述至少第一电极在周向方向中被分段成至少两个个别电极段来提供，并且/或者其中由所述至少第一电极提供的所述电场的非旋转对称z分量，是由相对于平面倾斜的所述至少第一电极提供的，所述平面正交于所述带电粒子束装置的所述光轴。

5.如权利要求1至3中任一项所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：测量所述样本的样品倾斜或局部样品倾斜；和

产生具有场强度的所述电场，所述场强度与所述倾斜成比例，或所述场强度至少部分补偿所述样品倾斜或所述局部样品倾斜。

6.如权利要求1至3中任一项所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：由扫描偏转器使所述初级带电粒子小束在所述样本上方扫描，其中所述至少第一电极在所述多孔透镜板的所述表面上产生的所述电场的z分量具有振幅，所述振幅与所述扫描偏转器的激励成比例。

7.一种用于由初级带电粒子小束阵列检查样本的带电粒子束装置，所述带电粒子束装置具有光轴，所述光轴在所述带电粒子束装置的z方向中延伸，并且所述带电粒子束装置进一步包含：

带电粒子束源，所述带电粒子束源用于产生初级带电粒子小束阵列，其中所述带电粒子束源包含：

带电粒子束发射器，所述带电粒子束发射器用于发射初级带电粒子束；

多孔透镜板，所述多孔透镜板具有表面，所述多孔透镜板包含至少两个开口以产生并聚焦初级带电粒子小束阵列，所述多孔透镜板布置为通过所述带电粒子束发射器由所述初级带电粒子束直接照射；

至少第一电极，所述至少第一电极用于在所述多孔透镜板的所述表面上产生电场；所述至少第一电极具有径向方向、周向方向与一个孔开口，所述初级带电粒子束或所述初级带电粒子小束通过所述一个孔开口；

其中所述至少第一电极在周向方向中被分成至少两个个别的电极段；和

物镜，所述物镜用于将所述初级带电粒子小束阵列的每一初级带电粒子小束，聚焦至所述样本上的个别位置。

8.如权利要求7所述的带电粒子束装置，其中所述个别的电极段能够以不同的电压个别偏压。

9.如权利要求7或8所述的带电粒子束装置，其中所述至少第一电极相对于平面倾斜，所述平面正交于所述带电粒子束装置的所述光轴。

10.如权利要求7或8所述的带电粒子束装置，进一步包含：

透镜模块与偏转器模块中的至少一个，以将所述初级带电粒子小束阵列的初级带电粒子小束引导通过所述物镜的无彗差点。