[发明专利]用于检查样本的方法和带电粒子多束装置

权利要求书

1.一种利用带电粒子束装置中的初级带电粒子小束的阵列检查样本的方法，

利用带电粒子束源的带电粒子束发射器产生初级带电粒子束；

利用所述初级带电粒子束照射多孔透镜板，以产生被聚焦的所述初级带电粒子小束的阵列；

利用至少两个电极校正所述带电粒子束装置的场弯曲，其中所述至少两个电极包含孔开口；

利用透镜将所述初级带电粒子小束引导朝向所述带电粒子束装置的物镜；

引导所述初级带电粒子小束穿过布置在所述透镜内的偏转器阵列；其中所述透镜和所述偏转器阵列的组合作用引导所述初级带电粒子小束穿过所述带电粒子束装置的所述物镜的无彗差点；和

利用所述物镜将所述初级带电粒子小束聚焦在所述样本上的不同位置上，以同时在所述不同位置处检查所述样本。

2.如权利要求1所述的方法，其中由所述带电粒子束发射器直接照射所述多孔透镜板。

3.如权利要求1所述的方法，其中利用至少两个电极来校正所述带电粒子束装置的所述场弯曲包含以下步骤：将所述至少两个电极放置在所述带电粒子束源与所述多孔透镜板之间。

4.如权利要求3所述的方法，其中利用所述至少两个电极校正所述带电粒子束装置的场弯曲包含以下步骤：以减速模式操作所述至少两个电极，使所述初级带电粒子束减速。

5.如权利要求1所述的方法，其中利用至少两个电极来校正所述带电粒子束装置的所述场弯曲包含以下步骤：将所述至少两个电极在传播所述初级带电粒子小束的方向上放置在所述多孔透镜板后方。

6.如权利要求5所述的方法，其中利用所述至少两个电极校正所述带电粒子束装置的场弯曲包含以下步骤：以加速模式操作所述至少两个电极，使所述初级带电粒子小束加速。

7.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述透镜选自由以下项组成的群组：静电透镜、组合的静电-磁透镜、磁透镜和无旋转的磁双合透镜。

8.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中信号带电粒子小束是所述初级带电粒子小束在所述样本上碰撞或背散射时产生的，并且其中所述信号带电粒子小束通过布置在所述透镜和所述物镜之间的分束器的磁场而与所述初级带电粒子小束分离。

9.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述偏转器阵列包含用于单独对准所述初级带电粒子小束的多个四极元件。

10. 如权利要求1至6中任一项所述的方法，进一步包含使所述初级带电粒子小束碰撞在所述样本上，其中所述初级带电粒子小束的每一个在所述样本上提供点，所述点具有小于20 nm的点尺寸。

11.如权利要求1至6中任一项所述的方法，进一步包含使所述初级带电粒子小束碰撞在所述样本的不同位置上，其中在所述样本上碰撞时，在任何所述带电粒子小束之间的最小距离小于150 µm。