[发明专利]粒子捕获设备有效
申请号: | 201780075186.9 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN110036104B | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 铃木康夫;室田敦史;大坂享史;绪方寿幸 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | C12M1/00 | 分类号: | C12M1/00;G01N37/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;焦成美 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粒子 捕获 设备 | ||
1.粒子捕获设备,其具备第1基板、和以与所述第1基板的一侧平行地相对的方式配置的第2基板,
所述第1基板具备多个在所述第1基板的另一侧开口、且具有可捕获1个粒子的大小的凹部,
所述凹部具备将所述一侧与所述另一侧连通、且具有所述粒子的分散介质可移动的大小的连通孔,
所述第1基板与所述第2基板之间形成有将所述第1基板的所述连通孔作为所述分散介质的流入口、且将所述第1基板的一侧的端部作为所述分散介质的流出口的流路,
所述连通孔的总开口面积为1mm2以上且小于10mm2,并且所述流出口处的所述流路的截面积为所述连通孔的总开口面积的0.8倍以上,或者,
所述连通孔的总开口面积为10mm2以上且1000mm2以下,并且所述流出口处的所述流路的截面积为所述连通孔的总开口面积的0.1倍以上,
粒子捕获设备的任意区域间的、粒子的捕获率之比为0.7以上。
2.如权利要求1所述的粒子捕获设备,其中,
所述连通孔的总开口面积为2mm2以上且小于8mm2,并且所述流出口处的所述流路的截面积为所述连通孔的总开口面积的0.8倍以上且6.9倍以下,或者,
所述连通孔的总开口面积为10mm2以上且50mm2以下,并且所述流出口处的所述流路的截面积为所述连通孔的总开口面积的0.1倍以上且0.73倍以下。
3.如权利要求1或2所述的粒子捕获设备,其中,所述流出口处的所述流路的截面积大于所述连通孔的总开口面积。
4.如权利要求1或2所述的粒子捕获设备,其中,所述第1基板与所述第2基板之间的距离为100μm以上。
5.如权利要求1或2所述的粒子捕获设备,其中,所述第1基板与所述第2基板之间的距离为100μm以上且340μm以下。
6.如权利要求1或2所述的粒子捕获设备,其中,所述粒子的直径为1~500μm。
7.粒子捕获设备,其具备第1基板、和以与所述第1基板的一侧平行地相对的方式配置的第2基板,
所述第1基板具备多个在所述第1基板的另一侧开口、且具有可捕获1个粒子的大小的凹部,
所述凹部具备将所述一侧与所述另一侧连通、且具有所述粒子的分散介质可移动的大小的连通孔,
所述第1基板与所述第2基板之间形成有将所述第1基板的所述连通孔作为所述分散介质的流入口、且将所述第1基板的一侧的端部作为所述分散介质的流出口的流路,
所述连通孔的总开口面积为1mm2以上,
所述第1基板与所述第2基板之间的距离为100μm以上,
粒子捕获设备的任意区域间的、粒子的捕获率之比为0.7以上。
8.如权利要求7所述的粒子捕获设备,其中,
所述连通孔的总开口面积为1mm2以上且50mm2以下,
所述第1基板与所述第2基板之间的距离为100μm以上且340μm以下。
9.如权利要求1或7所述的粒子捕获设备,其中,所述第1基板的材质为感光性树脂组合物。
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