[发明专利]适于采用激光诱导向前转移(LIFT)施加的组合物

说明书

本发明涉及一种组合物，其包含：a)一种或多种树脂；b)导电粒子和/或不导电粒子和/或导热粒子；和c)按所述组合物的总重量计，5‑40重量％的溶剂和/或活性稀释剂，其中所述溶剂和/或活性稀释剂具有高于130℃的沸点，并且其中所述组合物不具有储能模量(G’)与损耗模量(G”)的交叉，并且其中所述储能模量(G’)低于所述损耗模量(G”)。本发明的组合物适于采用激光引起转发转移法(LIFT)施加。

技术领域

本发明涉及适于采用激光诱导向前转移(LIFT)施加的组合物。

背景技术

组件如微电子机械系统(MEMS)的尺寸缩减对工业标准应用技术如点胶(dispensing)、印刷、喷射或针转移(pin transfer)而言有挑战性。目前使用的点胶技术均已经在体积和/或点尺寸和要求的工艺速度方面达到其极限。对于工业中使用的标准材料，喷射技术的点尺寸限制是约200μm。针点胶和针转移均可以在点尺寸方面下降直至75μm，然而，工艺速度会受到不利影响，因此，需要非常精确和昂贵的机器人系统。在另一方面，印刷是非常快速的技术，然而，分辨率低并且仅可以生产大点。采用点胶法，可以合理高的分辨率产生更小的点尺寸，然而与印刷法相比，这项技术更慢并且可重复性更低。

该领域最近的发展是激光诱导向前转移(LIFT)法。在LIFT中，导引脉冲激光束穿过激光透明的靶基材，以轰击涂覆在靶基材相对侧上的材料膜(供体层)。因为薄膜材料吸收激光辐射，因此激光使薄膜材料气化，并且归因于动量转移，将该材料从靶基材移除并且使其再沉积于靠近靶基材布置的接受基材上。LIFT一般用于将不透明薄膜(一般为金属)从预涂覆的激光透明支持物(一般为玻璃、SiO₂、Al₂O₃、SrTiO₃等)转移至接受基材。LIFT技术结合了喷射技术和点胶技术的优点，它快速并且可重复性好，并且可以高分辨率获得非常小的点尺寸。已经证明LIFT技术能够以>1000个点/秒的工艺速度施加<80μm的点。另外，LIFT所要求的机器人系统不需求相同的准确度。LIFT技术也将能够实现进一步缩减组件和装置的尺寸。

因为薄膜材料借助激光的作用气化，所以LIFT内在地是热解技术，并且通常用于沉积简单的单组分材料。一般，LIFT不能用来沉积晶态、多组分复合材料，因为这些材料在气化时倾向于分解并且在冷凝时可能变成非晶态。另外，因为待转移的材料气化，它变得反应性更强并且可以更容易地降解、氧化或被污染。通常，LIFT不适于转移有机材料，因为许多有机材料脆弱、热不稳定，并且在沉积期间可能不可逆地受损。另外，有机聚合物上的官能团可能因直接暴露于激光能量而不可逆地受损。

众所周知，可以使粘合剂适用于丝网印刷、喷射、针转移和点胶，然而对于LIFT法，这尚不是同等简单的工艺。需要使LIFT法可用于复合材料。因此，需要基于复合材料的组合物，其理想地用于LIFT法中。

附图说明

图1显示组合物A1、A2和A3的储能模量和损耗模量。

图2显示储能模量(G’)相对于损耗模量(G”)。

图3显示由对比组合物产生的不能进行LIFT且不可重复的点。

图4显示LIFT法中组合物粘度的影响。

图5显示LIFT法中溶剂和/或活性稀释剂的沸点的影响。

图6显示LIFT法中组合物的溶剂量和/或活性稀释剂量的影响。

图7显示从本发明组合物产生的可良好地进行LIFT并且可重复的点。

发明内容