[发明专利]超纯水制造装置以及超纯水制造装置的运转方法在审
| 申请号： | 201780076079.8 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110049952A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 港康晴;中马高明 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/58 | 分类号： | C02F1/58;B01D61/00;B01D61/44;C02F1/20;C02F1/32;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/469;C02F9/02;C02F9/04;C02F9/12 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铂族金属催化剂 超纯水制造装置 紫外线氧化装置 树脂塔 纯水制造装置 离子交换装置 铂族金属 脱气装置 载体树脂 再生型 树脂 膜式 子槽 纳米级粒径 预处理装置 过氧化氢 粒子负载 超滤 混床 去除 优选 运转 | ||
1.一种超纯水制造装置，
其包括：一次纯水装置，具有紫外线氧化装置、再生型混床式离子交换塔或电去离子装置、以及膜式脱气装置；以及
子系统，对从所述一次纯水装置获得的一次纯水进行处理，所述子系统具有紫外线氧化装置、铂族金属催化剂树脂塔、以及膜式脱气装置，
在所述超纯水制造装置中，在所述一次纯水装置的紫外线氧化装置的后级设置铂族金属催化剂树脂塔。
2.如权利要求1所述的超纯水制造装置，其中，
所述子系统还包括非再生型混床式离子交换塔。
3.如权利要求1或2所述的超纯水制造装置，其中，
所述一次纯水装置的铂族金属催化剂树脂塔和所述子系统的铂族金属催化剂树脂塔中的铂族金属是铂、钯、或铂/钯合金。
4.如权利要求1～3中任一项所述的超纯水制造装置，其中，
所述铂族金属是平均粒径为1～50nm的铂族金属粒子。
5.一种超纯水制造装置的运转方法，其中，
所述超纯水制造装置包括：一次纯水装置，具有紫外线氧化装置、铂族金属催化剂树脂塔、再生型混床式离子交换塔或电去离子装置、以及膜式脱气装置；以及
子系统，对从所述一次纯水装置获得的一次纯水进行处理，所述子系统具有紫外线氧化装置、铂族金属催化剂树脂塔、以及膜式脱气装置，
所述超纯水制造装置的运转方法通过使被处理水连续通水于所述一次纯水装置和所述子系统来制造超纯水。
6.如权利要求5所述的超纯水制造装置的运转方法，其中，
所述一次纯水装置的铂族金属催化剂树脂塔和所述子系统的铂族金属催化剂树脂塔中的铂族金属是铂、钯、或铂/钯合金。
7.如权利要求5或6所述的超纯水制造装置的运转方法，其中，
所述铂族金属是平均粒径为1～50nm的铂族金属粒子。
8.如权利要求5～7中任一项所述的超纯水制造装置的运转方法，其中，
所述子系统的紫外线氧化装置的处理水的H2O2浓度为10～100μg/L，该子系统的铂族金属催化剂树脂塔的处理水的H2O2浓度为0.1～10μg/L。
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