[发明专利]用于监测来自量测装置的照射的特性的方法

权利要求书

1.一种用于监测来自量测装置的照射的特性的方法，所述方法包括：

使用所述量测装置在所述量测装置的不同焦点设置下获取光瞳图像；以及

计算所获取的每个光瞳图像的不对称性值；

其中每个光瞳图像是在衬底的目标的至少一个边缘上获取的。

2.根据权利要求1所述的方法，包括：

计算与为零的不对称性值相对应的焦点设置，以便确定具有最佳焦点的焦点设置。

3.根据权利要求2所述的方法，其中计算与为零的不对称性值相对应的焦点设置的步骤包括：在计算出的不对称性值之间进行插值。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中计算所述不对称性值的步骤包括：对所述光瞳图像的一半中的像素的强度值求和，并且减去所述光瞳图像的另一半中的像素的强度值。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中针对每个焦点设置，在所述目标的至少两个边缘上获取光瞳图像。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述光瞳图像是使用具有偏振方向的光来获取的，所述偏振方向与所述目标的所述边缘延伸的方向相匹配。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中每个光瞳图像是通过利用直径为至多20μm的照射光斑照射所述目标来形成的。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述目标的直径为至多20μm。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述目标被定位在所述衬底的划道中。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所确定的焦点设置用于贯穿与所述目标相邻的裸片区域来检查所述衬底。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中针对所述衬底的多个裸片区域中的每个裸片区域，使用与所述裸片区域相邻的目标来确定具有最佳焦点的焦点设置。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中对所确定的焦点设置进行调节，以便针对远离所述目标的所述衬底的裸片区域估计具有最佳焦点的焦点设置。

13.根据权利要求1所述的方法，其中

使用所述量测装置在所述量测装置的不同焦点设置下获取光瞳图像包括：

使用所述量测装置在所述衬底的所述目标上的一位置处获取一组光瞳图像，其中所述位置包括所述目标的一边缘；

计算所获取的每个光瞳图像的不对称性值包括：

计算针对所述一组光瞳图像中的每个光瞳图像的不对称性值；以及

其中，所述一组光瞳图像是在所述量测装置的不同焦点设置下获取的。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括：

使用所述量测装置在所述量测装置的不同焦点设置下获取光瞳图像还包括：

使用所述量测装置在所述目标上的另一位置处获取另一组光瞳图像，所述另一位置与所述位置不同；以及

计算所获取的每个光瞳图像的不对称性值还包括：

计算针对所述另一组光瞳图像中的每个光瞳图像的不对称性值，

其中所述另一组光瞳图像是在所述量测装置的不同焦点设置中的至少一些焦点设置下获取的。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述另一位置包括：

所述目标的另一边缘，其中所述另一边缘与所述边缘不同；或者

所述目标上的如下位置，所述位置使得照射光斑在所述目标内完全符合以不包括所述目标的任何边缘。