[发明专利]过滤单元及包含其的镀覆装置

说明书

根据本发明的一个实施例的过滤单元可以包括：旋风主体部件，流体从一侧方向流入，且内部截面设置成圆形形状，以形成所述流体的旋转流动；以及排出部件，所述排出部件设置于旋风主体部件的中央的上端部，并且至少一部分截面形成为非圆形，以降低旋转流动并排出所述流体。

技术领域

本发明涉及一种过滤单元及包含其的镀覆装置。

背景技术

特此标明，此部分中记述的内容仅单纯用于提供对于本发明的背景信息，并不构成已公开的现有技术。

真空蒸镀为在真空氛围下通过各种方法来对固体的涂覆物质加热蒸发而转化为蒸汽，并将其喷射于钢板等被镀覆体而形成薄膜的技术，主要根据加热方法来对涂覆方法进行分类。

具代表性的真空蒸镀方法有热蒸镀法(thermal evaporation)、电子束蒸镀法(electron beam evaporation)以及电磁悬浮蒸镀法(electro-magnetic levitationevaporation)。

这些真空蒸镀法中，决定涂覆速度的是涂覆物质的蒸汽压力及加热温度。由于蒸汽压力是物质的固有特性，无法任意控制，因此为了提高涂覆速度需要提高涂覆物质的加热温度。

为了提高涂覆物质的加热温度需要提高电阻加热器，电子束或电磁感应圈的电力。由此，随着涂覆物质及坩埚的温度上升，以熔汤形状盛装在坩埚中的涂覆物质将蒸发，同时发生沸腾。

如果熔汤沸腾，则因气泡而使熔汤的表面不稳定，气球破裂，同时涂覆物质的凝块被放出，并被涂覆于试片的表面上。这种现象被命名粗大粒子或飞溅(splash)，这将成为降低涂覆表面的质量的主要原因。

即，为了高速涂覆，需要高温加热涂覆物质，但是熔汤的沸腾将引起粗大粒子的放出，这会降低涂覆表面的质量，因此高速涂覆存在局限性。

作为对这些粗大粒子进行分离并去除的技术的一个例子，有将过滤单元安装在蒸汽产生部和蒸汽喷出口之间的技术。

即，根据粗大粒子和镀覆蒸汽的比重差，通过蒸汽喷出口只排出镀覆蒸汽并供给。

然而，如上所述从过滤单元的内部排出镀覆蒸汽时镀覆蒸汽仍然进行旋转流动，因此将产生镀覆蒸汽的密度差。

由此，将从过滤单元排出的镀覆蒸汽喷射于钢板等被镀覆体时发生涂覆均匀度下降的问题。

因此，需要对用于解决前述的问题的过滤单元及包含其的镀覆装置进行研究。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的在于，提供一种过滤单元及包含其的镀覆装置，所述过滤单元能够供给粗大粒子得到分离的镀覆蒸汽，同时降低镀覆蒸汽的旋转流动，从而供给均匀密度的镀覆蒸汽。

(二)技术方案

根据本发明的一个实施例的过滤单元可以包括：旋风主体部件，流体从一侧方向流入，且内部截面设置成圆形形状，以形成所述流体的旋转流动；以及排出部件，所述排出部件设置于所述旋风主体部件的中央的上端部，并且至少一部分截面形成为非圆形，以降低旋转流动并排出所述流体。

并且，根据本发明的一个实施例的过滤单元的所述排出部件的特征在于，与所述旋风主体部件结合的下端部可以形成为圆形截面，排出所述流体的上端部可以形成为非圆形截面。

并且，根据本发明的一个实施例的过滤单元的所述排出部件的特征在于，排出所述流体的上端部可以形成为椭圆形截面。

并且，根据本发明的一个实施例的过滤单元的所述排出部件的特征在于，截面可以是椭圆形缸体形状。