[发明专利]电阻率值调整装置和电阻率值调整方法

说明书

一种电阻率值调整装置，其包括：气体溶解装置，其用于将用于调整液体的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述液体，而生成在所述液体溶解有所述调整气体的处理液体；以及缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体。

技术领域

本发明涉及一种用于调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。

背景技术

在半导体或者液晶的制造工序中，使用超纯水清洗基板。在该情况下，若超纯水的电阻率值较高，则产生静电。由此，发生绝缘破坏，或者微粒再附着，而对产品成品率造成显著的不良影响。为了解决这样的问题，提出了使用了疏水性的中空纤维膜组件的技术。该技术使用中空纤维膜组件在超纯水中溶解二氧化碳或者氨气等气体。于是，利用离解平衡产生离子，利用该产生了的离子生成超纯水的电阻率值降低而成的处理水。

另外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动激烈。因此，在专利文献1中，提出了一种即使流量变动也使电阻率值稳定的电阻率值调整装置。专利文献1所记载的电阻率值调整装置包括用于生成小流量的高浓度气体附加超纯水的中空纤维膜组件和使大流量的超纯水穿过的旁通管路。而且，将利用中空纤维膜组件生成的高浓度气体附加超纯水和穿过了旁通管路的超纯水合流，而生成用于清洗基板的处理水。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3951385号公报

发明内容

发明要解决的问题

另外，溶解于超纯水的气体如下这样以式(1)和式(2)两个阶段进行离解(离子化)。另外，以下的式子示出使用二氧化碳作为气体的情况。

H₂O+CO₂＝H⁺+HCO₃^-…(1)

HCO₃^-＝H⁺+CO₃^-…(2)

然而，溶解于超纯水的气体逐渐使离解进展。例如，在使用了专利文献1所记载的电阻率值调整装置的情况下，在利用中空纤维膜组件使气体溶解于超纯水的阶段中，式(1)的离子化大致结束，但式(2)的离子化要花费时间。因此，存在如下问题：在配置于电阻率值调整装置的下游侧的配管中的、电阻率值调整装置的附近测量出的处理水的电阻率值和在距电阻率值调整装置数m的下游侧测量出的处理水的电阻率值发生偏离(偏差)。

另外，也存在如下问题：由于处理水中的离子浓度产生不均，从而电阻率值发生波动。例如，在使用了专利文献1所记载的电阻率值调整装置的情况下，将超纯水和气体附加超纯水合流，但由于超纯水和气体附加超纯水的混合状态而使超纯水中的离子浓度产生不均。

这两个问题存在作为电阻率值的调整值的电阻率调整值越高表现得越显著的倾向。

因此，作为解决这两个问题的手段，考虑使配置于电阻率值调整装置的下游侧的配管变长，在处理水于该配管内流动的期间进行自然混合和离解。

然而，若使该配管变长，则产生如下等问题：(1)配管压力损失变高，(2)需要用于收纳较长的配管的空间，(3)由于配管长度存在极限，因此无法使电阻率值的偏离和波动完全收敛。

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制规模的扩大并且抑制处理水的电阻率值的偏离和波动这两者的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。

用于解决问题的方案