[发明专利]光电检测器阵列与数字前端的混合集成有效
申请号: | 201780078589.9 | 申请日: | 2017-12-18 |
公开(公告)号: | CN110088915B | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | P-Y.德罗兹;C.奥纳尔 | 申请(专利权)人: | 伟摩有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/107 | 分类号: | H01L31/107;H01L31/0392;H01L31/18;G01J1/42 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 金玉洁 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 检测器 阵列 数字 前端 混合 集成 | ||
本公开涉及光学接收器系统。示例光学接收器系统包括具有多个光电检测器和偏置电路的第一基底。偏置电路电耦合到多个光电检测器中的每个光电检测器。偏置电路被配置为向每个光电检测器提供偏置电压。光学接收器系统还包括多个电容器。多个电容器中的每个电容器电耦合到多个光电检测器中的相应光电检测器。光学接收器系统还包括具有读出电路的第二基底,该读出电路具有多个通道。多个通道中的每个通道经由相应电容器电容耦合到相应光电检测器。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2016年12月19日提交的美国专利申请第15/383,112号的优先权,其内容通过引用结合于此。
背景技术
除非本文另有说明,否则本部分中描述的材料不是本申请权利要求的现有技术,并且不因包含在本部分中而被承认是现有技术。
多个光电检测器可以布置在多元件(例如,X-乘-Y(X-by-Y))阵列中,所述多元件阵列可以包括扫描阵列或焦平面阵列(FPA)。这种阵列可以被配置为检测紫外、可见和红外波长范围中或其他波长处的光。
发明内容
本公开一般涉及一种包括光电检测器的阵列的光学接收器系统。光电检测器可以包括单光子雪崩光电检测器(SPAD)。光电检测器的阵列中的每个SPAD电容耦合到数字读出电路的相应通道。在这样的场景中,SPAD检测器的阵列可以直接连接到数字读出器,这可以改善光学接收器系统的信噪比、响应时间和其他性能指标。
在第一方面,提供了一种系统。该系统包括具有多个光电检测器和偏置电路的第一基底。偏置电路电耦合到多个光电检测器中的每个光电检测器。偏置电路被配置为向每个光电检测器提供偏置电压。该系统还包括多个电容器。多个电容器中的每个电容器电耦合到多个光电检测器中的相应光电检测器。该系统还包括第二基底,该第二基底包括具有多个通道的读出电路。多个通道中的每个通道经由相应电容器电容耦合到相应光电检测器。
在第二方面,提供了一种制造方法。该方法包括提供第一基底。第一基底包括多个光电检测器和偏置电路。偏置电路电耦合到多个光电检测器中的每个光电检测器。偏置电路被配置为向每个光电检测器提供偏置电压。该方法还包括提供第二基底,该第二基底包括具有多个通道的读出电路。该方法附加地包括耦合第一基底和第二基底,以便形成多个电容器。多个电容器中的每个电容器耦合到多个光电检测器中的相应光电检测器和多个通道中的相应通道。
通过阅读以下详细描述,并适当地参考附图,其他方面、实施例和实现方式对于本领域普通技术人员将变得显而易见。
附图说明
图1示出了根据示例实施例的系统。
图2A示出了根据示例实施例的系统的一部分。
图2B示出了根据示例实施例的系统的一部分。
图2C示出了根据示例实施例的系统。
图2D示出了根据示例实施例的系统。
图2E示出了根据示例实施例的系统。
图3示出了根据示例实施例的系统。
图4A示出了根据示例实施例的电路。
图4B示出了根据示例实施例的电路。
图4C示出了根据示例实施例的电路。
图4D示出了根据示例实施例的波形。
图4E示出了根据示例实施例的波形。
图5示出了根据示例实施例的方法。
具体实施方式
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的