[发明专利]在结构化表面上制作喷嘴结构

权利要求书

1.一种制造喷嘴结构的方法，所述方法包括：

通过多光子处理第一材料在三维结构化表面的至少一部分上形成微结构化图案；

使用不同于所述第一材料的第二材料复制所述微结构化图案和所述三维结构化表面的至少一部分的负片，以形成具有所述微结构化图案的负图案和所述三维结构化表面的至少一部分的负表面的复制结构；

将所述复制结构与所述微结构化图案和所述三维结构化表面分离。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括在所述复制之后，以及在所述分离之前或之后，从所述复制结构移除第二材料。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在所述复制结构与所述三维结构化表面分离之后发生所述从所述复制结构移除第二材料。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述三维结构化表面位于腔体的底部，并且其中在多光子处理所述第一材料之前，所述第一材料位于所述腔体中。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述三维结构化表面包括两个离散的规则表面，并且所述微结构化图案的至少一部分形成在所述两个离散的规则表面上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述三维结构化表面是导电的。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述三维结构化表面包括插入件，所述插入件作为位于基板的支撑表面上的独立且离散的制品提供。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述支撑表面不形成所述三维结构化表面的一部分。

9.根据权利要求7至8中任一项所述的方法，其中在所述形成微结构化图案之前将所述插入件浸没在所述第一材料中。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的方法，其中所述将所述复制结构与所述三维结构化表面分离包括移除所述插入件。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中所述三维结构化表面包括燃料喷射器阀的至少一部分。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法，其中所述微结构化图案包括多个微结构化特征，并且每个微结构化特征形成在所述三维结构化表面上。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述多个微结构化特征中的每个微结构化特征包括在所述三维结构化表面上形成的基部和远离所述三维结构化表面的远侧端部，并且所述微结构化图案任选地包括附接到所述多个微结构化特征中的至少两个微结构化特征的所述远侧端部的至少一个支撑特征。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的方法，其中所述复制包括电镀所述三维结构化表面，使得所述微结构化图案包含在所述第二材料内。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的方法，其中在所述分离之后，所述微结构化图案限定多个从所述复制结构的入口面延伸穿过所述复制结构到所述复制结构的出口面的通孔。