[发明专利]用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元

权利要求书

1.一种用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元，其连接到晶圆加工设备而成为连接在设备前端单元的装载口与负载锁定腔室单元之间的缓冲，其特征在于，包括：

单元壳体，其一面对所述晶圆加工设备的其它构成要素开放，从而供晶圆进出；

晶圆容纳孔，形成在所述单元壳体内，与所述单元壳体的开放的面连通，从而供所述晶圆进出，并容纳所述晶圆；

门部件，开放或关闭所述单元壳体的开放的面，从而实现所述晶圆容纳孔对外部的开放或关闭；以及

可拆卸腔室部件，可拆卸地安装在所述单元壳体上，并且，其内部形成有所述晶圆容纳孔；

当在所述单元壳体连接到所述晶圆加工设备的状态下，所述门部件对所述晶圆加工设备与所述单元壳体之间进行关闭时，所述可拆卸腔室部件能够从所述单元壳体分离。

2.一种用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元，其连接到晶圆加工设备而成为连接在设备前端单元的装载口与负载锁定腔室单元之间的缓冲，其特征在于，包括：

单元壳体，其一面对所述晶圆加工设备的其它构成要素开放，从而供晶圆进出；

晶圆容纳孔，形成在所述单元壳体内，与所述单元壳体的开放的面连通，从而供所述晶圆进出，并容纳所述晶圆；

门部件，开放或关闭所述单元壳体的开放的面，从而实现所述晶圆容纳孔对外部的开放或关闭；以及

感应传感器部件，感应所述晶圆加工设备的所述其它构成要素与所述单元壳体是否按照所要求的位置与姿势结合。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元，其特征在于，

所述可拆卸腔室部件形成有排放口，所述排放口用于将所述晶圆容纳孔内的包含异物的空气排放到所述晶圆容纳孔外部，所述排放口形成于所述可拆卸腔室部件的底面，

在所述可拆卸腔室部件的入口侧的两个侧壁形成有侧面排放件，所述侧面排放件与所述排放口连通，从而与所述排放口一起对所述晶圆容纳孔内的包含异物的空气进行排放。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元，其特征在于，

所述单元壳体包括隔板，

在所述隔板和所述可拆卸腔室部件的相对于所述隔板的面上形成有互相咬合的引导固定突起及引导固定槽部，供对所述可拆卸腔室部件对于所述隔板的结合加以引导并实现固定，

所述引导固定突起与所述引导固定槽部至少分别在三个相互分隔的位置上互相咬合，

所述引导固定突起，包括：

突起主体；以及

锥形上部件，形成于所述突起主体的上方，具有趋向其上侧逐渐变窄的锥形形态；

所述引导固定槽部，包括：

插槽，其凹陷一定深度，形成为趋向其上侧逐渐变窄的倾斜面形态；以及

固定槽，供经过所述插槽的所述锥形上部件插入并实现固定，

当将所述可拆卸腔室部件置于所述隔板上时，三个位置以上的各个所述引导固定突起和各个所述引导固定槽部咬合，相对较小的所述锥形上部件的上部嵌入相对较宽的所述插槽的入口的任意位置后，所述锥形上部件沿着所述插槽的倾斜面滑行而得到引导，由此插入所述固定槽并且得到固定。