[发明专利]粒子加速系统及粒子加速系统的调整方法

说明书

一种粒子加速系统及粒子加速系统的调整方法，其中，根据离子的种类，调整离子源(10)相对于输送部(30)的安装角度及安装位置。由此，根据离子的种类，可以适当地调整离子的输送路径(P)。从而，无需改变以能够将电子闭锁于离子源(10)内的方式适当地调整的磁场的强度，便能够将以期望的能量从离子源(10)内引出的离子经由输送部(30)中规定的到达目标点(T)进行输送，而到达加速器(20)。因此，不管离子的种类如何都能够产生离子，并且将离子输送到加速器(20)。

技术领域

本发明的一实施方式涉及一种粒子加速系统及粒子加速系统的调整方法。

背景技术

先前，已知作为粒子加速系统具备产生离子的离子源、加速离子的加速器、及从离子源向加速器输送离子的输送部(例如，参考专利文献1)。这种粒子加速系统中，在离子源内形成磁场的同时，向该离子源内导入电子及气体分子。此时，若适当地调整磁场的强度，则通过磁场的作用电子被闭锁于离子源内。闭锁于离子源内的电子与气体分子碰撞，其结果，在离子源中产生等离子体状态的离子。

并且，若对设置于离子源的引出电极施加引出电压，则以对应引出电压的能量从离子源内引出离子。被引出的离子通过输送部被输送。此时，当离子经由输送部中的规定的到达目标点输送的情况下，能够通过输送部适当引导而到达加速器。因此，离子源与输送部相互安装的位置关系以从离子源内引出而输送的离子经由到达目标点的方式设定。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-25797号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

然而，离子源能够产生多种离子的情况下，为了使多种离子分别经由同一到达目标点而输送，需要根据离子的种类改变磁场强度。但若磁场强度被改变，则会影响离子源中的等离子体的状态，可能导致无法产生离子。

因此，本发明的一实施方式目的在于提供一种不管离子的种类如何都能够产生离子，并且将离子向加速器输送的粒子加速系统及粒子加速系统的调整方法。

用于解决技术课题的手段

本发明的一实施方式所涉及的粒子加速系统具备产生离子的离子源、使离子加速的加速器及从离子源向加速器输送离子的输送部，离子源能够调整相对于输送部的安装角度及安装位置。

并且，本发明的一实施方式所涉及的粒子加速系统的调整方法中，粒子加速系统具备产生离子的离子源、使离子加速的加速器及从离子源向加速器输送离子的输送部，粒子加速系统的调整方法中，根据离子的种类，调整离子源相对于输送部的安装角度及安装位置。

该粒子加速系统及粒子加速系统的调整方法，其中，根据离子的种类，调整离子源相对于输送部的安装角度及安装位置。由此，根据离子的种类，适当地调整离子的输送路径。从而，无需改变以能够将电子闭锁于离子源内的方式适当地调整的磁场的强度，便能够将以期望的能量从离子源内引出的离子经由输送部中规定的到达目标点输送，而到达加速器。由此，不管离子的种类如何都能够产生离子，并且将离子输送到加速器。

并且，本发明的粒子加速系统具备支承离子源的支承部，支承部可以相对于离子源装卸。该情况下，准备多个部件作为支承部，该多个部件能够将离子源相对于输送部的安装角度及安装位置以互不相同的状态支承。而且，根据离子的种类选择多个部件中的某一个，所选择的部件能够作为支承部而使用。由此，根据离子的种类，离子的输送路径被适当地调整。从而，仅根据离子的种类装卸支承部，便能够轻松地调整离子源相对于输送部的安装角度及安装位置。