[发明专利]照明装置和用于在显微镜中照明的方法和显微镜

权利要求书

1.用于显微镜(1a)的照明装置(3)，其包括用于馈入照明光束(7)的照明输入端(13)和用于输出至少两个由照明光束(7)产生的子光束(17)的照明输出端(15)，其特征在于，所述照明装置(3)包括至少一个衍射光学构件(46)，用于将照明光束(7)分成沿着子光路(19)传播的所述至少两个子光束(17)并且用于相对改变所述至少两个子光束(17)相对彼此的传播方向(11)，使得由照明装置(3)输出的所述至少两个子光束(17)在照明输出端(15)上非共线地相对彼此延伸，其中所述衍射光学构件(46)具有至少一个光栅(47)，所述至少一个光栅(47)构成为在结晶介质或玻璃(89)中的密度光栅(101)，所述密度光栅由通过声变换器(91)产生的声波构成，所述密度光栅具有结晶介质或玻璃(89)的压缩区域(102)的周期区段，所述至少一个密度光栅(101)相对于结晶介质或玻璃(89)运动并且照明光束(7)的由密度光栅(101)产生的衍射阶(55)相对彼此是频率偏移的。

2.根据权利要求1所述的照明装置(3)，其特征在于，所述显微镜(1a)是光片显微镜或SPIM显微镜(1)或者倾斜平面显微镜。

3.根据权利要求1所述的照明装置(3)，其特征在于，设有一个单个的脉冲式光源(6)，在该脉冲式光源的输出端(25)上输出脉冲式照明光束(7)并且将该照明光束馈入照明输入端(13)中。

4.根据权利要求1所述的照明装置(3)，其特征在于，所述至少两个子光束(17)之中的每个子光束(17)通过照明光束(7)的光的由衍射光学构件(46)产生的不同衍射阶(55)形成。

5.根据权利要求1所述的照明装置(3)，其特征在于，设有用于减小子光束(17)的光彼此间的相干性的退相干装置(73)。

6.根据权利要求5所述的照明装置(3)，其特征在于，所述退相干装置(73)构造成延迟机构(77)并且所述至少两个子光路(17)为了传播相应的子光束(17)而具有不同长度的光学行程长度(85)。

7.根据权利要求6所述的照明装置(3)，其特征在于，所述延迟机构(77)包括至少一个光波导体(45)。

8.根据权利要求6或7所述的照明装置(3)，其特征在于，所述至少两个子光路(17)的光学行程长度(85)具有长度差(Δl)，该长度差大于或等于子光束(17)的光的相干长度(L)。

9.根据权利要求6或7所述的照明装置(3)，其特征在于，所述至少两个子光路(17)的光学行程长度(85)具有长度差(Δl)，该长度差大于或等于光在真空中在脉冲式产生的照明光束(7)的脉冲持续时间期间走过的路程。

10.根据权利要求8所述的照明装置(3)，其特征在于，所述至少两个子光路(17)的光学行程长度(85)具有长度差(Δl)，该长度差大于或等于光在真空中在脉冲式产生的照明光束(7)的脉冲持续时间期间走过的路程。

11.根据权利要求1所述的照明装置(3)，其特征在于，所述至少两个密度光栅(101a、101b)构成在结晶介质或玻璃(89)中。

12.根据权利要求1所述的照明装置(3)，其特征在于，所述结晶介质(89)是各向异性的结晶介质(89a)，该各向异性的结晶介质使子光束(17)的光的极性相对于照明光束(7)的光的极性转动。

13.显微镜(1a)，其包括根据权利要求1至12之一所述的照明装置(3)。

14.根据权利要求13所述的显微镜(1a)，其中所述显微镜(1a)是光片显微镜或SPIM显微镜(1)或者倾斜平面显微镜。