[发明专利]用于光扫描仪的MEMS扫描模块

权利要求书

1.一种用于光扫描仪(99)的扫描模块(100)，包括:

基座(141，141-1，141-2)，

界面元件(142，142-1，142-2)，其被配置成用于固定镜面(151)，以及

至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)，其被设计成弹性的，在所述基座(141，141-1，141-2)和所述界面元件(142，142-1，142-2)之间垂直于所述镜面延伸，并且具有不小于0.7毫米的延伸量，

其中所述基座(141，141-1，141-2)、所述界面元件(142，142-1，142-2)和所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)一体形成。

2.根据权利要求1所述的扫描模块(100)，

其中所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)被设计成沿着纵轴(111，112)呈杆状，所述纵轴具有垂直于所述镜面(151)的分量，

其中所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)的长度(211)不小于2mm，可选地不小于4mm，进一步的，可选地不小于6mm。

3.根据权利要求1或2所述的扫描模块(100)，

其中所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)的纵轴(111，112)与镜面(151)的表面法线(159)围成一个角(159)，所述角在-60°至+60°的范围内，可选地在-45°±15°的范围内，或+45°±15°的范围内。

4.根据前述权利要求中任一项所述的扫描模块(100)，

其中所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)包括至少两个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)，其中在每种情况下，所述至少两个支撑元件的纵轴(111，112)成对地彼此围成角度，该角度不大于45°，可选地不大于10°，进一步的，可选地不大于1°。

5.根据前述权利要求中任一项所述的扫描模块(100)，

其中所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)包括布置在平面中的至少两个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的扫描模块(100)，还包括:

附加基座(141，141-1，141-2)，其连接到所述基座(141，141-1，141-2)，并且不与其一体形成，

附加界面元件(142，142-1，142-2)，其连接到所述界面元件(142，142-1，142-2)，不与其一体形成，并且被配置成用于固定所述镜面(151)，以及

至少一个被设计成弹性的附加支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)，其在所述附加基座(141，141-1，141-2)和所述附加界面元件(142，142-1，142-2)之间延伸。

7.根据权利要求6所述的扫描模块(100)，

其中所述至少一个支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)可以通过在所述至少一个附加支撑元件(101，101-1，101-2，102，102-1，102-2)上的对称平面上的反射被复制。

8.根据权利要求6或7所述的扫描模块(100)，

其中所述基座(141，141-1，141-2)通过基座间隔部(401)连接到所述附加基座(141，141-1，141-2)，和/或

其中所述至少一个界面元件(142，142-1，142-2)经由所述界面间隔件部(402)连接到所述至少一个附加界面元件(142，142-1，142-2)。