[发明专利]硬涂层系统以及用于以连续卷绕式工艺制造硬涂层系统的方法有效

专利信息
申请号: 201780082884.1 申请日: 2017-01-12
公开(公告)号: CN110168135B 公开(公告)日: 2021-12-31
发明(设计)人: 尼尔·莫里森;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;海克·兰特格雷夫;斯蒂芬·海因;托比亚斯·斯托利 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/32;C23C16/40;C23C16/54;C23C28/04;G06F3/044
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 涂层 系统 以及 用于 连续 卷绕 工艺 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种硬涂层系统(100),适用于在触控屏幕面板中使用,所述硬涂层系统包括:

柔性基板(101);及

层堆叠物(110),设置于所述柔性基板(101)上,其中所述层堆叠物(110)包括粘附促进层(111)、抗反射层堆叠物(120)及无机硬涂顶层(113),所述粘附促进层设置于所述柔性基板(101)上,其中所述抗反射层堆叠物(120)包括NbOx和硅中的至少一者,并且其中所述抗反射层堆叠物(120)设置于所述粘附促进层(111)及所述无机硬涂顶层(113)之间;

其中所述粘附促进层(111)构造成以共价键结合于所述柔性基板的表面,且其中所述粘附促进层(111)在与所述柔性基板(101)的界面(102)处的机械性质适用于所述柔性基板(101)的机械性质。

2.如权利要求1所述的硬涂层系统(100),其中所述粘附促进层(111)具有100nm≤TAPL≤800nm的厚度TAPL

3.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层(113)的厚度THTL为100nm≤THTL≤1μm。

4.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述粘附促进层(111)包括碳氧化硅SiOxCy

5.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述粘附促进层(110)由碳氧化硅SiOxCy组成。

6.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层(113)包括氧化硅SiOx或其中所述无机硬涂顶层(113)包括碳化硅SiC。

7.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层(113)由氧化硅SiOx组成或其中所述无机硬涂顶层(113)由碳化硅SiC组成。

8.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层具有从2H至9H的铅笔硬度(pencilhardness)。

9.如权利要求1所述的硬涂层系统(100),其中所述抗反射层堆叠物(120)包括SiOx的第一层(121)、NbOx的第二层(122)及SiOx的第三层(123),所述第一层(121)设置于所述粘附促进层(111)上,所述第二层(122)设置于所述第一层(121)上,所述第三层(123)设置于所述第二层(122)上。

10.如权利要求9所述的硬涂层系统(100),其中所述抗反射层堆叠物(120)进一步包括ITO的第四层(124),所述第四层(124)设置于所述第三层(123)上。

11.如权利要求1所述的硬涂层系统(100),进一步包括其他粘附促进层(112),所述其他粘附促进层(112)位于所述抗反射层堆叠物(120)及所述无机硬涂顶层(113)之间。

12.如权利要求9所述的硬涂层系统(100),进一步包括其他粘附促进层(112),所述其他粘附促进层(112)位于所述抗反射层堆叠物(120)及所述无机硬涂顶层(113)之间。

13.如权利要求10所述的硬涂层系统(100),进一步包括其他粘附促进层(112),所述其他粘附促进层(112)位于所述抗反射层堆叠物(120)及所述无机硬涂顶层(113)之间。

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