[发明专利]硬涂层系统以及用于以连续卷绕式工艺制造硬涂层系统的方法有效
申请号: | 201780082884.1 | 申请日: | 2017-01-12 |
公开(公告)号: | CN110168135B | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 尼尔·莫里森;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;海克·兰特格雷夫;斯蒂芬·海因;托比亚斯·斯托利 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/32;C23C16/40;C23C16/54;C23C28/04;G06F3/044 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂层 系统 以及 用于 连续 卷绕 工艺 制造 方法 | ||
1.一种硬涂层系统(100),适用于在触控屏幕面板中使用,所述硬涂层系统包括:
柔性基板(101);及
层堆叠物(110),设置于所述柔性基板(101)上,其中所述层堆叠物(110)包括粘附促进层(111)、抗反射层堆叠物(120)及无机硬涂顶层(113),所述粘附促进层设置于所述柔性基板(101)上,其中所述抗反射层堆叠物(120)包括NbOx和硅中的至少一者,并且其中所述抗反射层堆叠物(120)设置于所述粘附促进层(111)及所述无机硬涂顶层(113)之间;
其中所述粘附促进层(111)构造成以共价键结合于所述柔性基板的表面,且其中所述粘附促进层(111)在与所述柔性基板(101)的界面(102)处的机械性质适用于所述柔性基板(101)的机械性质。
2.如权利要求1所述的硬涂层系统(100),其中所述粘附促进层(111)具有100nm≤TAPL≤800nm的厚度TAPL。
3.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层(113)的厚度THTL为100nm≤THTL≤1μm。
4.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述粘附促进层(111)包括碳氧化硅SiOxCy。
5.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述粘附促进层(110)由碳氧化硅SiOxCy组成。
6.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层(113)包括氧化硅SiOx或其中所述无机硬涂顶层(113)包括碳化硅SiC。
7.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层(113)由氧化硅SiOx组成或其中所述无机硬涂顶层(113)由碳化硅SiC组成。
8.如权利要求1或2所述的硬涂层系统(100),其中所述无机硬涂顶层具有从2H至9H的铅笔硬度(pencilhardness)。
9.如权利要求1所述的硬涂层系统(100),其中所述抗反射层堆叠物(120)包括SiOx的第一层(121)、NbOx的第二层(122)及SiOx的第三层(123),所述第一层(121)设置于所述粘附促进层(111)上,所述第二层(122)设置于所述第一层(121)上,所述第三层(123)设置于所述第二层(122)上。
10.如权利要求9所述的硬涂层系统(100),其中所述抗反射层堆叠物(120)进一步包括ITO的第四层(124),所述第四层(124)设置于所述第三层(123)上。
11.如权利要求1所述的硬涂层系统(100),进一步包括其他粘附促进层(112),所述其他粘附促进层(112)位于所述抗反射层堆叠物(120)及所述无机硬涂顶层(113)之间。
12.如权利要求9所述的硬涂层系统(100),进一步包括其他粘附促进层(112),所述其他粘附促进层(112)位于所述抗反射层堆叠物(120)及所述无机硬涂顶层(113)之间。
13.如权利要求10所述的硬涂层系统(100),进一步包括其他粘附促进层(112),所述其他粘附促进层(112)位于所述抗反射层堆叠物(120)及所述无机硬涂顶层(113)之间。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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