[发明专利]减少准分子光源中的散斑

权利要求书

1.一种用于减少准分子光源中的散斑的方法，包括：

产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；

对于一个或多个脉冲，在所述脉冲的所述脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，所述第二时间相干长度小于所述脉冲的所述第一时间相干长度；

确定所述修改的脉冲的带宽是否在目标带宽的范围内；

如果确定所述修改的脉冲的所述带宽在所述目标带宽的所述范围之外，那么调节在产生所述修改的脉冲的所述脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位的频率；

至少从所述修改的脉冲形成脉冲光束；以及

将所形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，产生由脉冲构成的所述光束包括：

产生由脉冲构成的种子光束；以及

通过使所述种子光束的所述脉冲重复通过谐振器来通过光学放大所述种子光束的所述脉冲以产生由放大的脉冲构成的光束。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，在脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位包括在放大的脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位以产生所述修改的脉冲。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：在所述光束的脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位之前，减小那个脉冲的带宽以产生所述修改的脉冲；

其中，在脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位引起所述脉冲的所述带宽增加但保持在目标带宽的范围内。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，在脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位以产生所述修改的脉冲，从而减小了朝向所述衬底引导的所述脉冲光束的动态散斑对比度。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括增加朝向所述衬底引导的所述光束中的所述脉冲的持续时间。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括选择在脉冲的脉冲持续时间上调制所述光学相位的频率范围，其中，选择所述频率范围包括：

确定将产生所述修改的脉冲的目标带宽的目标频率范围；以及

将所述频率范围保持在确定的目标频率范围内，从而将所述修改的脉冲的所述带宽保持在所述目标带宽的范围内。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，在脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位以产生所述修改的脉冲包括调制所述脉冲被引导通过的材料的折射率。

9.根据权利要求1所述的方法，进一步包括通过调节所述光学相位被调制的速率来调节被朝向所述衬底引导的所述脉冲的带宽。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，在脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位包括在所述脉冲的所述脉冲持续时间上将所述光学相位随机化。