[发明专利]位置偏移量获取装置、检查装置、位置偏移量获取方法及检查方法

说明书

在位置偏移量获取装置(41)的图像分割部(411)中，分割两个图像中的一个图像来获取分割区域组。适应性区域确定部(412)求出各分割区域相对于获取两个图像间的位置偏移量的偏移量获取处理的适应度，根据分割区域组确定出适于偏移量获取处理的多个适应性区域。位置偏移量获取部(413)在各适应性区域中，进行两个图像间的偏移量获取处理，从而获取该适应性区域的位置偏移量。位置偏移量计算部(414)对于分割区域组中不包含于多个适应性区域的非适应性区域，根据多个适应性区域的位置偏移量、及该非适应性区域与多个适应性区域的位置关系，来求出位置偏移量。由此，可精度良好地求出两个图像中各分割区域的位置偏移量。

技术领域

本发明涉及位置偏移量获取装置、检查装置、位置偏移量获取方法及检查方法。

背景技术

当前，印刷基板的外观检查会将CAM(Computer Aided Manufacturing；计算机辅助制造)数据等的设计数据作为基准而进行检查。例如，将设计数据所示的设计图案的图像与显示印刷基板的配线图案的图像进行比较，而将有一定程度以上差异的地方作为缺陷而提取出来。在这种比较检查中，会进行两个图像的位置对齐。在该位置对齐中，求出两个图像的位置偏移量。

此外，在日本专利特开平6-300703号公报中，揭示有一种检查装置，其将每个将被检查图像及参考图像分割为既定尺寸的区域而成的评价区域相互地比较，来进行缺陷的检测。在该检查装置中，求出各评价区域的两个图像的位置偏移量，来得到相对于位置偏移量的频率分布。作为图像整体的位置偏移量而获取该频率分布的分布重心的位置且作为被检查图像所示的图案中内部应变的最大值而获取距重心最远的点与重心的间的距离。

然而，于对每个既定尺寸的分割区域进行两个图像的位置对齐的情形时，存在一个分割区域的图案例如仅由朝一个方向延伸的直线状的图案要素所构成的情形。在该情形时，虽可精度良好地求出垂直于该一个方向的方向的位置偏移量，但难以精度良好地求出该一个方向的位置偏移量。

发明内容

本发明是用于位置偏移量获取装置，其目的在于精度良好地求出两个图像中各分割区域的位置偏移量。

本发明的位置偏移量获取装置具备：图像分割部，其分割两个图像中的一个图像来获取分割区域组；适应性区域确定部，其求出各分割区域相对于获取所述两个图像间的位置偏移量的偏移量获取处理的适应度，从所述分割区域组确定出适于所述偏移量获取处理的多个适应性区域；位置偏移量获取部，其在各适应性区域中，进行所述两个图像间的所述偏移量获取处理，从而获取所述各适应性区域的位置偏移量；以及位置偏移量计算部，其对于所述分割区域组中不包含于所述多个适应性区域的非适应性区域，根据所述多个适应性区域的位置偏移量、及所述非适应性区域与所述多个适应性区域的位置关系，来求出位置偏移量。

根据本发明，可精度良好地求出两个图像中各分割区域的位置偏移量。

在本发明一较佳形态中，所述适应性区域确定部通过检测包含于所述各分割区域所示的图案的特征点，来求出所述适应度。

在本发明另一较佳形态中，所述一个图像是从表示设计图案的设计数据所导出的图像，且所述两个图像中的另一个图像是通过拍摄形成有基于所述设计数据的实际图案的对象物所获取的图像。

在本发明一形态中，在所述偏移量获取处理中，将所述一个图像的所述各适应性区域朝上下左右移动，并且求出所述各适应性区域与所述两个图像中的另一个图像的差，从而获取所述各适应性区域的所述位置偏移量。

在本发明另一形态中，将所述各分割区域的位置作为参数的位置偏移量的算式被预先设定，所述位置偏移量计算部根据所述多个适应性区域的位置偏移量、及所述多个适应性区域的位置，来求出所述算式的系数。