[发明专利]两级液封式真空泵以及液封式真空泵

权利要求书

1.一种液封式真空泵，其具有：

收容密封液的壳体；

将所述壳体的后端侧的开口部封闭的排气壳体；

所述壳体内所收容的至少一个叶轮；和

设于支承所述叶轮的主轴将所述排气壳体贯穿的部分上的轴封部件，该液封式真空泵的特征在于，

所述叶轮具备：具有供所述主轴穿插的孔的圆筒状的轮毂部；从所述轮毂部向径向外侧延伸的多个叶片；和在面对所述轴封部件一侧从所述轮毂部的外周向径向外侧延伸的圆环状的侧板，

所述侧板的外径比形成于所述排气壳体的轴封部件收容空间的内径大，

在所述排气壳体上形成有针对泵室的排气口，

所述侧板的外周与所述排气口相比在所述叶轮的径向上位于内侧。

2.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

所述侧板的端面的至少一个面平行于与所述主轴的轴向正交的面。

3.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

所述侧板与各所述叶片的宽度方向端面以及径向内端连接。

4.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

具有所述轮毂部、多个所述叶片和所述侧板的所述叶轮是通过铸造而一体成型的。

5.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

具有将多个所述叶片在相邻的叶片间相互连结的圆环状的连结杆，

所述连结杆位于各所述叶片的宽度方向端部，且位于所述侧板的外周侧。

6.根据权利要求5所述的液封式真空泵，其特征在于，

所述连结杆具有从各所述叶片的宽度方向端部侧趋向宽度方向内侧而前端变窄的截面形状。

7.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

所述液封式真空泵由具有吸气侧的第一级叶轮和排气侧的第二级叶轮的两级液封式真空泵构成，

所述侧板设在所述第二级叶轮。

8.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

所述轮毂部的外径小于所述轴封部件的收容空间的内径。

9.根据权利要求1所述的液封式真空泵，其特征在于，

所述排气口与所述叶片的外端相比在所述叶轮的径向上位于内侧。