[发明专利]用于化学成像原子力显微镜红外光谱法的方法和装置

权利要求书

1.一种用亚微米级红外辐射快速表征样品的装置，所述装置包括：

红外辐射源，其配置为用红外辐射光束来照射样品以产生红外照射区域；

紫外-可见辐射源，其配置为用紫外-可见光束照射样品的所述红外照射区域的至少一个区域；

收集器，其配置为收集至少一部分紫外-可见光作为收集的光，所述紫外-可见光是从所述样品散射、反射和折射中的至少一种；

接收器，其配置为分析收集的光，以指示所述红外照射区域的至少一个区域的红外吸收；以及

拉曼光谱仪，其配置为分析所述收集的光以分析所述样品的拉曼响应。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述拉曼响应用于从所述样品的至少一个区域构建至少一个拉曼光谱。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述接收器配置为同时分析所述红外吸收和所述拉曼响应。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述红外吸收和所述拉曼响应以亚微米分辨率确定。

5.一种用亚微米级红外辐射快速表征样品的装置，所述装置包括：

红外辐射源，其配置为用红外辐射光束来照射样品以产生红外照射区域；

紫外-可见辐射源，其配置为用紫外-可见光束照射样品的所述红外照射区域的至少一个区域；

收集器，其配置为收集至少一部分紫外-可见光作为收集的光，所述紫外-可见光是从所述样品散射、反射和折射中的至少一种；以及

接收器，其配置用于共焦光学显微镜，并且还配置为分析所述收集的光，以指示所述样品的所述红外照射区域的至少一个区域的红外吸收。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述接收器包括共焦孔。

7.一种用亚微米级红外辐射快速表征样品的装置，所述装置包括：

红外辐射宽带源，其配置为用红外辐射光束来照射样品，以产生红外照射区域；

紫外-可见辐射源，其配置为用紫外-可见光束照射样品的所述红外照射区域的至少一个区域；

收集器，其配置为收集至少一部分紫外-可见光作为收集的光，所述紫外-可见光是从所述样品散射、反射和折射中的至少一种；以及

接收器，其配置为分析收集的光，以指示所述红外照射区域的至少一个区域的红外吸收。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述宽带源包括热源。

9.根据权利要求7所述的装置，进一步包括调制器，其配置为调制所述红外辐射光束。

10.根据权利要求9所述的装置，其中所述调制器配置为以超过10kHz的频率调制所述红外辐射光束。

11.一种用亚微米级红外辐射快速表征样品的装置，所述装置包括：

红外辐射源，其配置为用红外辐射光束来照射样品以产生红外照射区域；

紫外-可见辐射源，其配置为用紫外-可见光束照射样品的所述红外照射区域的至少一个区域；

收集器，其配置为收集至少一部分紫外-可见光作为收集的光，所述紫外-可见光是从所述样品散射、反射和折射中的至少一种；以及

接收器，其配置为分析所述收集的光，以指示所述样品的红外吸收；

其中所述接收器包括位置敏感检测器和阵列检测器中的至少一个；以及

其中，以小于或等于1微米的空间分辨率测量所述样品的红外吸收。