[发明专利]一种激光投影装置和一种激光投影系统

权利要求书

1.一种激光投影装置，其特征在于，该激光投影装置包括光源扫描器和MEMS扫描镜，所述光源扫描器包括有一个或多个微激光二极管；

所述微激光二极管用于提供投影所需的激光束，所述激光束投射至所述MEMS扫描镜后，被所述MEMS扫描镜反射到预定区域形成投影图像；

所述光源扫描器在第一平面内扫描，使所述光源扫描器的激光束投射至所述MEMS扫描镜；

所述MEMS扫描镜绕第一轴扫描，反射所述激光束到预定区域形成投影图像；

其中，所述第一轴位于所述第一平面内或者所述第一轴与所述第一平面平行。

2.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，所述光源扫描器的扫描频率高于所述MEMS扫描镜的扫描频率。

3.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，该激光投影装置还包括扫描信号同步模块，所述扫描信号同步模块分别向所述光源扫描器和所述MEMS扫描镜发送驱动信号。

4.如权利要求2所述的激光投影装置，其特征在于，所述光源扫描器的扫描频率在20kHz以上。

5.如权利要求2所述的激光投影装置，其特征在于，所述MEMS扫描镜的扫描频率在60Hz～120Hz以内。

6.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，所述光源扫描器和/或所述MEMS扫描镜的致动机制为电磁的、电热的、静电的或压电的。

7.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，该激光投影装置还包括设置在激光束路径上的光学透镜模块，所述光学透镜模块用于会聚修整所述激光束。

8.如权利要求7所述的激光投影装置，其特征在于，所述光学透镜模块设置在所述光源扫描器和所述MEMS扫描镜之间或者设置在所述MEMS扫描镜和所述预定区域之间。

9.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，所述光源扫描器工作在一阶谐振模式或二阶谐振模式。

10.如权利要求3所述的激光投影装置，其特征在于，所述光源扫描器和所述MEMS扫描镜被同步控制以产生光栅扫描图案。

11.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，所述MEMS扫描镜的平面尺寸在4mm＊4mm以内。

12.如权利要求1-11任一项所述的激光投影装置，其特征在于，所述光源扫描器和所述MEMS扫描镜均设置为单轴驱动结构；

所述光源扫描器还包括衬底和压电致动器，所述压电致动器设置在所述衬底上，所述微激光二极管设置在所述压电致动器的上表面，所述微激光二极管包括红、绿、蓝三色微激光二极管，所述微激光二极管使用打线接合或者倒晶封装封装于压电致动器表面，并且微激光二极管的电极电连接至所述压电致动器上的焊盘或者导电线路，所述压电致动器上的焊盘或者导电线路是通过蒸发或者溅射形成的。

13.如权利要求12所述的激光投影装置，其特征在于，所述微激光二极管发出的激光束垂直所述压电致动器的长度方向，位于所述第一平面内，所述MEMS扫描镜设置在垂直所述压电致动器的长度方向上，所述激光束最终被反射至所述压电致动器长度方向上的预定区域形成投影图像；或者，所述微激光二极管发出的激光束沿所述压电致动器的长度方向射出，位于所述第一平面内，所述MEMS扫描镜设置在所述压电致动器的长度方向上，所述激光束最终被反射至垂直所述压电致动器长度方向的预定区域形成投影图像。

14.如权利要求1所述的激光投影装置，其特征在于，该激光投影装置还包括微激光二极管驱动模块，所述微激光二极管驱动模块独立驱动所述微激光二极管。