[发明专利]带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201780084642.6 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN110337707B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吉原真衣;大南祐介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 | ||
【权利要求书】：
1.一种带电粒子线装置，其特征在于，
具备：
向试样照射带电粒子线的镜筒；
拍摄上述试样的光学图像的摄像部；
载置上述试样的轴偏离试样台；以及
载置上述轴偏离试样台且能移动的载物台，
上述轴偏离试样台具有载置于上述载物台的试样基座部和在中心配置有上述试样的观察部位的配置台，
在上述镜筒的光轴与上述摄像部的光轴的距离为L、上述载物台的移动距离为a时，上述试样基座部的中心轴与上述配置台的中心轴的距离q为q≥L-a。
2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，
为q＝L-a。
3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，
还具备：
支撑上述镜筒的机箱；以及
配置于上述镜筒与上述摄像部之间的反射镜，
上述摄像部配置于上述机箱的侧面，具有相对于上述反射镜的摄像透镜，上述摄像部的光轴是由上述反射镜反射的光轴。
4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，
上述轴偏离试样台具有固定其角度的防转销。
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