[发明专利]表面增强红外吸收台

说明书

表面增强红外吸收台可以包括基板、从基板延伸的静态岛以及从基板延伸的可移动纳米指状物。静态岛可以具有等离子体活性岛帽以及至少一微米的与基板平行的维度。可移动纳米指状物可以与维度对齐。可移动纳米指状物可以具有可闭合到距岛帽小于或等于5nm的等离子体活性指状物帽。

背景技术

表面增强红外吸收(SEIRA)有时用于分析诸如无机材料和复杂的有机分子的分析物的结构。SEIRA将红外辐射或光聚焦到分析物上，其中光与分析物之间的相互作用被检测以用于分析。

附图说明

图1是示意性地图示示例SEIRA台的一部分的侧视图。

图2是用于形成示例SEIRA台的示例方法的流程图。

图3是示意性地图示示例SEIRA感测系统的一部分的侧视图。

图4是另一示例SEIRA台的一部分的透视图。

图5是图4的示例SEIRA台的俯视图。

图6是另一示例SEIRA台的一部分的俯视图。

图7是另一示例SEIRA台的一部分的俯视图。

图8是另一示例SEIRA台的一部分的俯视图。

图9是另一示例SEIRA台的一部分的俯视图。

图10是示意性地图示示例SEIRA/表面增强拉曼光谱(SERS)感测系统的一部分的侧视图。

整个附图中，相同的附图标记标示相似但不一定相同的要素。附图不一定是按比例的，并且可以夸大某些部件的尺寸以更清楚地说明所示示例。此外，附图提供了与描述一致的示例和/或实现；然而，描述并不限于附图中提供的示例和/或实现。

具体实施方式

SEIRA利用相邻的导电表面或金属表面之间的能量定位间隙(energylocalization gaps)。减小间隙的尺寸可以增强性能。本文中公开的是SEIRA台的示例，该SEIRA台的示例提供用于强能量定位/强信号强度的、小的、受控的自限制单数位纳米(self-limited single digit nanometer)间隙，同时制造更经济的。

示例SEIRA台包括柔性纳米指状物和更宽的突出岛(protruding island)。岛表现出有利于在红外波长下操作的足迹。纳米指状物是柔性的，以便朝向岛倾斜以创建小于或等于5nm并且小至1至2nm的自限制纳米间隙，创建导致强光谱信号响应的高光能浓度的热点。由于纳米间隙由纳米指状物和岛的闭合形成，因此纳米指状物和岛之间的纳米间隙的尺寸并不完全取决于制造密度或分辨率，有利于低成本制造技术。

本文中公开了示例SEIRA台，该示例SEIRA台可以包括基板、从基板延伸的静态岛以及从基板延伸的可移动纳米指状物。静态岛可以具有等离子体活性岛帽以及至少一微米的与基板平行的维度。可移动纳米指状物可以与维度对齐。可移动纳米指状物可以具有可闭合到距岛帽小于或等于5nm的等离子体活性指状物帽。

本文中公开了使用SEIRA分析分析物的示例方法。该方法可以包括将分析物施加到SEIRA台。SEIRA台可以包括基板、从基板延伸的静态岛以及从基板延伸的可移动纳米指状物。静态岛可以具有等离子体活性岛帽以及至少一微米的与基板平行的维度。可移动纳米指状物可以与维度对齐。可移动纳米指状物可以具有可闭合到距岛帽小于或等于5nm的等离子体活性指状物帽。该方法可以进一步包括：朝向岛帽闭合指状物帽，照射指状物帽和岛帽，以及感测红外吸收以分析分析物。