[发明专利]真空脱气槽的诊断支援装置、诊断支援方法、诊断方法和修补方法

权利要求书

1.一种诊断支援装置，是具有向下方延伸的浸渍管的真空脱气槽的诊断支援装置，其特征在于，具备：

照相机，其以在俯视下配置于比所述浸渍管的内周面靠外侧的状态，拍摄从斜下方观察所述浸渍管的所述内周面的图像，作为数据取得所述图像；和

图像处理装置，其与所述照相机连接，进行所述数据的图像处理。

2.根据权利要求1所述的诊断支援装置，其特征在于，还具备：

工作台，其固定所述照相机；和

工作台移动机构，其使所述工作台在拍摄位置与退避位置之间移动，所述拍摄位置是在俯视下所述照相机配置于不与所述浸渍管的所述内周面重叠的位置的位置，所述退避位置是在俯视下所述照相机配置于不与所述真空脱气槽重叠的位置的位置。

3.根据权利要求2所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述工作台移动机构具备：

支柱，其沿铅垂方向延伸；和

臂，其从所述支柱沿水平方向延伸，并且以能够以所述支柱的轴为中心旋转的方式支承所述工作台。

4.根据权利要求2或3所述的诊断支援装置，其特征在于，

还具备固定于所述工作台且收纳所述照相机的收纳壳体，

所述收纳壳体的上面的至少一部分为耐热玻璃。

5.根据权利要求4所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述收纳壳体具备：

盖，其覆盖所述耐热玻璃的至少一部分；和

盖开闭机构，其以在所述工作台处于所述拍摄位置时成为所述盖打开的状态、在所述工作台移动时成为所述盖关闭的状态的方式使所述盖开闭。

6.根据权利要求4或5所述的诊断支援装置，其特征在于，

还具备向所述收纳壳体内供给气体的气体供给机构。

7.根据权利要求4～6的任一项所述的诊断支援装置，其特征在于，

还具备测定所述收纳壳体内的温度的温度计。

8.根据权利要求1～7的任一项所述的诊断支援装置，其特征在于，

还具备照相机控制部，所述照相机控制部一边使所述照相机的曝光时间在5ms～300ms的范围内变化，一边拍摄多个所述图像。

9.根据权利要求1～8的任一项所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述照相机以在俯视下配置于比所述浸渍管的外周面靠外侧的状态对所述浸渍管的所述内周面进行拍摄。

10.根据权利要求1～9的任一项所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述照相机在俯视下围绕所述浸渍管的中心轴配置多个。

11.根据权利要求10所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述照相机遍及全周地对所述浸渍管的所述内周面进行拍摄。

12.根据权利要求1～9的任一项所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述照相机对所述浸渍管的所述内周面之中的、在俯视下最靠近所述真空脱气槽的中心轴的区域进行拍摄。

13.根据权利要求1～12的任一项所述的诊断支援装置，其特征在于，

所述真空脱气槽是具有两根所述浸渍管的RH脱气槽。

14.一种诊断支援方法，是使用了权利要求1～13的任一项所述的诊断支援装置的真空脱气槽的诊断支援方法，其特征在于，具有：

拍摄工序，采用所述照相机拍摄从斜下方观察所述浸渍管的所述内周面的图像，取得数据；和

图像处理工序，采用所述图像处理装置进行在所述拍摄工序中取得的所述数据的图像处理。