[发明专利]固体激光系统和波长转换系统

权利要求书

1.一种固体激光系统，其具有：

第1固体激光装置，其输出第1波长的第1脉冲激光束；

第2固体激光装置，其输出第2波长的第2脉冲激光束；

第1非线性晶体，其配置在所述第1脉冲激光束和所述第2脉冲激光束行进的第1光路上，通过和频产生过程将所述第1脉冲激光束和所述第2脉冲激光束波长转换为第3波长的第3脉冲激光束而输出；以及

第2非线性晶体，其配置在所述第2脉冲激光束和所述第3脉冲激光束行进的第2光路上，通过和频产生过程将所述第2脉冲激光束和所述第3脉冲激光束波长转换为第4波长的第4脉冲激光束而输出，

使所述第2脉冲激光束在入射到所述第1非线性晶体之前的第1时机入射到所述第2非线性晶体，使所述第2脉冲激光束中的在所述和频产生过程中未被使用而穿过所述第2非线性晶体的剩余光、在比所述第1时机晚的第2时机入射到所述第1非线性晶体。

2.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，

所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机与所述第1时机大致相同。

3.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，

所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机与所述第2时机大致相同。

4.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，

所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机是所述第1时机与所述第2时机之间的时机。

5.根据权利要求4所述的固体激光系统，其中，

所述第1脉冲激光束入射到所述第1非线性晶体的时机是所述第1时机与所述第2时机之间的中间的时机。

6.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，

所述第2波长为1100nm以上且2000nm以下。

7.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，

所述第2固体激光装置包含Er光纤放大器。

8.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，

所述第1波长为220nm以上且400nm以下。

9.根据权利要求8所述的固体激光系统，其中，

第4波长为150nm以上且300nm以下。

10.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，

所述固体激光系统还具有第1分色镜，该第1分色镜配置在所述第2固体激光装置与所述第2非线性晶体之间的所述第2脉冲激光束的光路与所述第3脉冲激光束的光路交叉的位置，该第1分色镜使所述第2脉冲激光束朝向所述第2非线性晶体透射，并使所述第3脉冲激光束朝向所述第2非线性晶体反射。

11.根据权利要求10所述的固体激光系统，其中，

所述固体激光系统还具有：

第2分色镜，其配置在所述第2脉冲激光束的所述剩余光的光路上，该第2分色镜使所述第2脉冲激光束的所述剩余光进行反射；

反射镜，其配置在由所述第2分色镜反射后的所述第2脉冲激光束的所述剩余光的光路上，该反射镜使所述第2脉冲激光束的所述剩余光进行反射；以及

第3分色镜，其配置在由所述反射镜反射后的所述第2脉冲激光束的所述剩余光的光路与所述第1脉冲激光束的光路交叉的位置，该第3分色镜使所述第1脉冲激光束朝向所述第1非线性晶体反射，并使所述第2脉冲激光束的所述剩余光朝向所述第1非线性晶体透射。

12.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，

所述固体激光系统还具有1/2波长板，该1/2波长板配置在所述第2脉冲激光束的所述剩余光的光路上的所述第1非线性晶体与所述第2非线性晶体之间。