[发明专利]具有压电传感器的成像装置

权利要求书

1.一种收发器组件，包含：

一基板；

至少一膜，悬挂于该基板上；

一第二基板，其中该第二基板包括一第一金属导体且该至少一膜包括一第二金属导体，且其中该第一金属导体以及该第二金属导体形成一电容器；以及

复数个换能器组件，安装在该至少一膜上，该复数个换能器组件中的每一个换能器组件具有一底部电极、在该底部电极上的一压电层、以及在该压电层上的至少一顶部电极，该复数个换能器组件中的每一个换能器组件响应于施加于该底部电极以及该至少一顶部电极的电势产生一弯矩并响应于对其施加的弯矩生成电荷，

其中所述复数个换能器组件中的第一换能器组件的所述压电层与该复数个换能器组件中的第二换能器组件的所述压电层以相反方向极化。

2.如权利要求1所述的收发器组件，其中该至少一膜包括凹槽与凸块中的至少其一以因此具有可变化的一厚度。

3.如权利要求1所述的收发器组件，其中该第一换能器组件与该第二换能器组件产生相反方向的弯矩。

4.如权利要求1所述的收发器组件，其中该第一换能器组件与该第二换能器组件产生相同方向的弯矩。

5.如权利要求1所述的收发器组件，其中该第一换能器组件的该至少一顶部电极电耦接至该第二换能器组件的该底部电极，且其中该第一换能器组件的该底部电极电耦接至该第二换能器组件的该至少一顶部电极。

6.如权利要求1所述的收发器组件，其中该压电层包含一或多个压电子层。

7.如权利要求1所述的收发器组件，其中该至少一膜包括一第一膜以及一第二膜，且该第一膜与该第二膜在不同的共振模式致动。

8.如权利要求1所述的收发器组件，其中施加至一第一换能器组件的电子讯号相对于施加至一第二换能器组件的电子讯号具有相位延迟。

9.如权利要求1所述的收发器组件，其中该至少一膜包括一第一膜以及一第二膜，且该第一膜在发射操作模式操作以产生压力波，且该第二膜仅在接收模式操作以侦测压力波。

10.如权利要求1所述的收发器组件，其中该基板包括设置在该至少一膜下的至少一腔，且其中该至少一腔为真空或填充有气体。

11.如权利要求1所述的收发器组件，其中该压电层包含PZT、KNN、PZT-N、PMN-Pt、AlN、Sc-AlN、ZnO、PVDF和LiNiO₃中的至少其一。

12.如权利要求1所述的收发器组件，其进一步包含一或多个凹槽，其形成于该基板中且设置于复数个膜之间。

13.一种收发器组件，包含：

一基板；

至少一膜，悬挂于该基板上；

一第二基板，其中该第二基板包括一光源且该至少一膜包括一孔，该孔布置以穿过由该光源发出的光的一部分；以及

复数个换能器组件，安装在该至少一膜上，该复数个换能器组件中的每一个换能器组件具有一底部电极、在该底部电极上的一压电层、以及在该压电层上的至少一顶部电极，该复数个换能器组件中的每一个换能器组件响应于施加于该底部电极以及该至少一顶部电极的电势产生一弯矩并响应于对其施加的弯矩生成电荷，

其中所述复数个换能器组件中的第一换能器组件的所述压电层与该复数个换能器组件中的第二换能器组件的所述压电层以相反方向极化。

14.如权利要求13所述的收发器组件，其中该至少一膜包括凹槽与凸块中的至少其一以因此具有可变化的一厚度。

15.如权利要求13所述的收发器组件，其中该第一换能器组件与该第二换能器组件产生相反方向的弯矩。