[发明专利]超声波振子、超声波内窥镜以及超声波振子的制造方法

说明书

超声波振子(10)包括：压电元件(11)，其与输入的电信号相应地射出超声波，并且将从外部射入的超声波转换为电信号；第1电极(12)，其连续地形成于压电元件(11)的位于该超声波振子(10)的外表面侧的第1面(111)和与该第1面交叉的1个交叉面(113)这两个面；第2电极(13)，其自第1电极(12)分开地形成在压电元件(11)的与第1面(111)相反的那一侧的第2面(112)；第1布线(142)，其导电连接于第1电极(12)中的、形成在交叉面(113)的部分；以及第2布线(143)，其导电连接于第2电极(13)。

技术领域

本发明涉及超声波振子、超声波内窥镜以及超声波振子的制造方法。

背景技术

以往已知有这样的超声波内窥镜：将柔软且细长的插入部插入到人等被检体内，利用设在该插入部的顶端的超声波振子对该被检体内进行观察(例如参照专利文献1)。

专利文献1所述的超声波振子由电子径向扫描方式的超声波振子构成，其具有以形成圆筒的方式有规则地排列的多个压电元件。更具体地讲，该超声波振子具有如下结构：背衬材料、压电元件及声阻匹配层一体地层叠，并且在相对于该声阻匹配层而言的外表面侧安装有声透镜。

在此，压电元件包括：平板状的压电体；上部电极，其形成于该压电体的位于超声波振子的外表面侧的一个板面；以及下部电极，其形成在另一个板面。此外，在上部电极和下部电极分别导电连接有导线。而且，与借助导线输入的电信号相应地在压电元件产生的超声波经由声阻匹配层，利用声透镜收敛而照射到被检体内。此外，在被检体内反射来的超声波经由声透镜和声阻匹配层射入到压电元件，利用该压电元件转换为电信号而借助导线输出。

然而，在上部电极和下部电极与各导线接合的接合部分接近声透镜的情况下，有可能由透过了声透镜的药剂等引起该接合部分腐蚀，上部电极和下部电极与各导线变得不导通。

因此，在专利文献1所述的超声波振子中，为了提升相对于药剂等而言的耐久性，采用以下的结构。另外，以下记载的“基端侧”意味着自插入部的顶端离开的一侧。

上部电极和下部电极在沿着插入部的延伸方向的插入轴线方向上的长度长于压电体，该上部电极和下部电极相对于该压电体向基端侧突出。此外，在上部电极和下部电极的向基端侧突出的各部分之间夹持有与压电体相同的厚度且不具有压电功能的模拟基板。并且，在布线保护层与模拟基板之间夹持上部电极，该布线保护层与声阻匹配层的基端侧邻接。该布线保护层与声阻匹配层之间的交界位于比声透镜的基端侧的端部靠基端侧的位置。而且，各导线在上部电极和下部电极的向基端侧突出的部分分别导电连接于比布线保护层与声阻匹配层之间的交界靠基端侧的位置。

通过像以上那样构成，从而声透镜～布线保护层与声阻匹配层之间的交界～上部电极和下部电极与各导线接合的接合部分这样的药剂等的进入路径的路径长度变长，成为药剂等难以到达上部电极和下部电极与各导线接合的接合部分的构造。即，相对于药剂等而言的耐久性上升。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－297118号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1所述的超声波振子中，需要设置布线保护层、模拟基板并且将上部电极和下部电极延长到基端侧，存在超声波振子的插入轴线方向上的长度尺寸变长这样的问题。

因此，期望能够确保耐久性并谋求小型化的技术。

本发明即是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够在确保耐久性的同时谋求小型化的超声波振子、超声波内窥镜以及超声波振子的制造方法。