[发明专利]磁流体线性致动器

权利要求书

1.一种致动器，包括：

线性电机(LEM)，具有带有定子孔的定子和能够在所述定子孔内轴向移动的平移体，并在所述定子孔与所述平移体之间限定磁路气隙；

形成在所述平移体上的至少一个流体轴承轴颈；

至少一个流体轴承，提供邻近所述平移体的轴承间隙，以允许所述平移体在所述定子孔内轴向移动；

预加载室，用于向所述平移体施加预加载力；

其中所述预加载室由侧壁、第一端壁和第二端壁限定，所述第二端壁的至少一部分能够与所述平移体一起移动，并且

其中所述轴承间隙和所述磁路气隙是同轴的。

2.根据权利要求1所述的致动器，其中所述端壁的可动部分的移动与所述定子孔同轴。

3.根据权利要求1或2所述的致动器，其中所述磁路气隙是圆柱形的。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的致动器，进一步包括固定到所述平移体的测试对象安装点。

5.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中所述流体轴承作用于在所述平移体的外表面上的流体轴承轴颈上。

6.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中所述平移体是中空的，并且沿着中心芯轴向滑动。

7.根据权利要求6所述的致动器，其中所述流体轴承作用于在所述平移体的内表面上的流体轴承轴颈上。

8.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中所述LEM是动磁型机器。

9.根据权利要求8所述的致动器，其中所述LEM是无槽定子型机器。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的致动器，其中所述LEM是磁通切换型机器。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的致动器，其中所述LEM是开关磁阻型机器。

12.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，还包括连接到所述平移体的编码器。

13.根据权利要求12所述的致动器，其中所述编码器感测一个或多个位置或速度。

14.根据权利要求12或13所述的致动器，其中所述编码器使用至少一个光学传感器、磁性传感器或机械传感器。

15.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中至少一个轴承间隙包括围绕所述平移体布置的多个轴向延伸的弓形截面通道。

16.根据权利要求1至14中任一项所述的致动器，其中所述轴承间隙为圆柱形或者包括两个或更多个弓形段。

17.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中所述致动器包括容纳所述LEM的致动器外壳主体，所述外壳主体包含一个或多个冷却通道。

18.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中一个或多个所述流体轴承是气体轴承、液体动压轴承或静压轴承。

19.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，其中所述气体轴承和所述定子形成定子组件。

20.根据权利要求19所述的致动器，其中所述预加载室邻近所述定子组件。

21.根据前述权利要求中任一项所述的致动器，包括在所述定子组件与所述平移体之间的一个或多个密封件，用以限制从所述预加载室进入所述磁气隙中的流体流动，其中形成在所述平移体上的气体轴承轴颈也形成用于所述密封件的密封表面。