[发明专利]致动光刻设备的致动单元的控制装置、具有控制装置的光刻设备及操作控制装置的方法

权利要求书

1.一种控制装置(10)，致动致动器单元(11)，该致动器单元设定光刻设备(100A、100B)的光学元件(20)的位置(P)，所述控制装置包括：

放大器单元(30)，通过电压信号(41)和PWM信号(42)提供所述致动器单元(11)的控制信号(40)，其中所述PWM信号(42)具有占空比(43)和时钟频率(51)，以及

调制器单元(50)，配置为将来自多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)提供给具有所述占空比(43)的PWM信号(42)，

其中所述多个限定的时钟频率(52)中的相应的限定的时钟频率(51)是基本时钟频率(f₀)的整数倍，其中所述基本时钟频率(f₀)是在10kHz–1MHz的范围中并且所述整数倍限定为乘以因子n，以及

其中，所述放大器单元(30)配置为，使用具有来自所述多个限定的时钟频率(52)中的第一限定的时钟频率(51)的第一PWM信号(42)在第一时间区间中，并且在没有中断的情况下使用具有来自所述多个限定的时钟频率(52)中的第二限定的时钟频率(51)的第二PWM信号(42)在直接接着所述第一时间区间的第二时间区间中，提供所述致动器单元(11)的控制信号(40)。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述调制器单元(50)配置为，取决于所述光学元件(20)的要设定的位置(P)来提供具有当前占空比(43)的PWM信号(42)，并且取决于所述当前占空比(43)从所述多个限定的时钟频率(52)中选择所述PWM信号(42)的限定的时钟频率(51)。

3.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，提供分配单元(60)，所述分配单元(60)配置为将来自所述多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)分配给对于所述PWM信号(42)为可设定的占空比(43)中的每一个。

4.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，提供分配单元(60)，所述分配单元(60)配置为将对于所述PWM信号(42)为可设定的占空比(43)细分成多个区间(I₁–I₇)，并且配置为将来自所述多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)分配给每个区间(I₁–I₇)。

5.根据权利要求3所述的控制装置，其中，所述调制器单元(50)配置为，取决于所述光学元件(20)的要设定的位置(P)来确定限定的占空比(43)、确定在所述分配单元(60)中分配给所述确定的占空比(43)的限定的时钟频率(51)、以及提供具有所述确定的占空比(43)和所述确定的限定的时钟频率(51)的PWM信号(42)。

6.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，生成不同时钟频率f₁、f₂、…、f_k的因子n₁、n₂、…、n_k形成了不中断的自然数序列并且n1＝1，其中f_k＝f₀·n_k。

7.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，所述基本时钟频率(f₀)是从系统时钟频率(f_s)推导出的时钟频率。

8.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，取决于所述控制装置(10)的功率损耗、电流信号和/或电压信号、以及/或者所述光刻设备(100A、100B)的系统参数，将限定的时钟频率(51)分配给所述占空比(43)中的相应的一个。

9.根据权利要求1或2所述的控制装置，其中，取决于至少一个系统参数，限定所述多个限定的时钟频率(52)中的每一个限定的时钟频率(51)。