[发明专利]对基板作业装置及图像处理方法

权利要求书

1.一种对基板作业装置，其特征在于，具备：

拍摄装置，拍摄基板；

存储装置，存储各种信息；及

图像处理装置，对于作为预定作业的对象的多个所述基板中的最前的基板执行最前基板用处理，对于作为所述预定作业的对象的多个所述基板中的除了所述最前基板以外的后续的基板执行后续基板用处理，其中，所述最前基板用处理是对通过所述拍摄装置拍摄所述最前的基板而得到的最前图像进行用于检测所述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测出了所述检测对象的所述最前图像内的区域相关的区域信息并存储于所述存储装置的处理；所述后续基板用处理是在通过所述拍摄装置拍摄所述后续的基板而得到的后续图像中基于存储于所述存储装置的所述区域信息来设定局部的处理区域，并对所设定的所述处理区域进行所述图像处理的处理。

2.根据权利要求1所述的对基板作业装置，其中，

所述图像处理是使用使所述基板及所述拍摄装置的位置相对地偏移而拍摄到的多个图像来生成分辨率比所述多个图像的分辨率高的高分辨率图像的超分辨率处理。

3.根据权利要求2所述的对基板作业装置，其中，

所述图像处理装置在所述最前基板用处理中，使用包含第一图像及第二图像在内的所述多个图像作为所述最前图像，基于通过取得所述多个图像的相关关系而得到的图像间的位置偏差量来生成所述高分辨率图像，从所述高分辨率图像中检测出所述预定的检测对象，并且取得所述第一图像中的所述区域信息并存储于所述存储装置，

所述图像处理装置在所述后续基板用处理中，取得包含第三图像及第四图像在内的所述多个图像作为所述后续图像，基于通过取得所述第一图像与所述第三图像的相关关系而得到的两图像间的位置偏差量及存储于所述存储装置的所述第一图像中的所述区域信息来设定所述第三图像中的局部的处理区域，基于通过取得所述多个图像中的设定的所述处理区域的相关关系而得到的图像间的位置偏差量来生成所述高分辨率图像，从所述高分辨率图像中检测出所述预定的检测对象。

4.根据权利要求3所述的对基板作业装置，其中，

所述图像处理装置在所述最前基板用处理中，使用对包含所述第一图像及所述第二图像在内的所述多个图像实施预定变换处理而得到的图像数据来取得所述多个图像的相关关系，并预先将所述预定变换处理后的所述第一图像的图像数据存储于所述存储装置，

所述图像处理装置在所述后续基板用处理中，在取得所述第一图像与所述第三图像的相关关系时，使用存储于所述存储装置的所述预定变换处理后的所述第一图像的图像数据和对所述第三图像实施预定变换处理而得到的图像数据。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述预定的检测对象是附设于所述基板的上表面的标记。

6.一种图像处理方法，是对于拍摄被进行预定作业的基板而得到的图像的图像处理方法，所述图像处理方法的特征在于，包括如下的步骤：

步骤(a)，对拍摄作为所述预定作业的对象的多个所述基板中的最前的基板而得到的最前图像，进行用于检测所述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理；

步骤(b)，取得与在所述步骤(a)中检测出了所述检测对象的所述最前图像内的区域相关的区域信息；

步骤(c)，在拍摄作为所述预定作业的对象的多个所述基板中的除了所述最前的基板以外的后续基板而得到的后续图像中，基于在所述步骤(b)中取得的所述区域信息来设定局部的处理区域；

步骤(d)，对所述后续图像中的在所述步骤(c)设定的处理区域，进行用于检测所述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理。