[发明专利]应变体及具备该应变体的力传感器

权利要求书

1.一种应变体，具备：

中央部；

外周部，其包围所述中央部的周围；

多个连接部，其将所述中央部与所述外周部连接；

多个第一变形传感器及第二变形传感器，设置于所述连接部的主表面上；

多个参考电阻，其设置于所述中央部的主表面上，与所述多个第一变形传感器一起构成桥接电路；以及

全桥电路，其设置于所述连接部的主表面上，并联地连接有一对串联连接的多个第二变形传感器。

2.根据权利要求1所述的应变体，其中，

所述中央部连接于外部的第一支撑部件，

所述外周部连接于外部的第二支撑部件，

所述外周部及所述连接部的弹性比所述中央部的弹性大。

3.根据权利要求1或2所述的应变体，其中，

还具备：

配线，其设置于所述中央部及所述连接部的主表面上，将所述多个第一变形传感器及第二变形传感器与所述多个参考电阻进行电连接；以及

电极，其设置于所述中央部的主表面上，与所述配线电连接，用于取出所述桥接电路及所述全桥电路的检测信号。

4.根据权利要求1或2所述的应变体，其中，

所述变形传感器为金属薄膜电阻体。

5.根据权利要求4所述的应变体，其中，

所述变形传感器包含铬及氮。

6.根据权利要求3所述的应变体，其中，

所述多个第一变形传感器及第二变形传感器、所述多个参考电阻、所述配线、以及所述电极在所述主表面上的配置以在连结所述外周部的角部的对角线上成镜像对称的方式构成。

7.一种力传感器，具备：

权利要求1所述的应变体；

圆筒状的主体；以及

圆筒状的可动体，其能够相对于所述主体运动，

所述应变体的所述中央部连接于作为支撑部件的所述主体和所述可动体中的一方，

所述应变体的所述外周部连接于作为支撑部件的所述主体和所述可动体的另一方。

8.根据权利要求7所述的力传感器，其中，

伴随所述可动体相对于所述主体的动作的所述外周部及所述连接部的弹性变形比所述中央部的弹性变形大。

9.根据权利要求7或8所述的力传感器，其中，

还具备：

至少3个圆形的开口部，其等间隔地设置于所述可动体的周围；

挡块，其配置于所述开口部各自的内部，具备第一侧面，所述第一侧面具有比所述开口部的直径小的第一外径；以及

固定部件，其将所述挡块固定于所述主体。