[发明专利]电子模块和功率模块有效
申请号: | 201780087429.0 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN110383474B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 富泽淳;西泽昭则 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/58 | 分类号: | H01L23/58;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 于丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 模块 功率 | ||
检测在电子模块产生的剥离。本发明的电子模块(1)具备特定导体(CE1)、绝缘层(IL3)、布线层(WL2)和电容电压转换器。布线层(WL2)包括检测电极(E16)。电容电压转换器连接于检测电极(E16)。检测电极(E16)隔着绝缘层(IL3)与特定导体(CE1)的部分对置,在与该部分之间形成电容。电容电压转换器构成为输出与该电容相应的电压。
技术领域
本发明涉及具有故障检测功能的电子模块和功率模块。
背景技术
以往,已知在电子模块所包括的层叠结构中会产生剥离。例如,在日本特开2014-53344号公报(专利文献1)中公开了如下情况:随着温度反复上升和下降(温度循环),在裸片垫(die pad)与半导体芯片之间产生剥离。
现有技术文件
专利文献
专利文献1:日本特开2014-53344号公报
发明内容
发明所要解决的技术课题
像功率模块那样,在电子模块中也有处理大的电力的模块。因此,电子模块在使用时有时会大量发热。当产生剥离时,在产生该剥离的部分热传导受到妨碍。由于电子模块中产生的热难以散发到外部,因此电子模块产生故障的可能性提高。
本发明是为了解决上述那样的技术课题而做出的,其目的在于检测电子模块中产生的剥离。
解决技术课题的技术方案
本发明的电子模块具备特定导体、绝缘层、布线层和电容电压转换器。布线层包括检测电极。电容电压转换器与检测电极连接。检测电极隔着绝缘层与特定导体的部分对置,在与该部分之间形成电容。电容电压转换器被构成为输出与该电容相应的电压。
发明效果
当在特定导体与绝缘层之间产生剥离时,在与检测电极对置的特定导体的部分和检测电极之间形成的电容产生变化。该电容的变化被检测为从电容电压转换器输出的电压的变化。根据本发明的电子模块,通过参照从电容电压转换器输出的电压,能够检测在特定基板与绝缘层之间产生的剥离。
附图说明
图1是作为实施方式1的电子模块的一例的功率模块的外观立体图。
图2是从图1的II-II线观察的剖视图。
图3是示出在图1的功率模块中产生了剥离的情形的图。
图4是示出两个电极和绝缘层在Z轴方向上层叠而成的层叠体的图。
图5是示出形成于图4所示的两个电极之间的电容器的结构的图。
图6是检测图5所示的电容器的电容变化的故障检测电路的电路图。
图7是用于检测图3所示的共集电极电极与绝缘层之间产生的剥离的故障检测电路的电路图。
图8是用于检测图3所示的散热基板与绝缘层之间产生的剥离的故障检测电路的电路图。
图9是作为实施方式2的电子模块的一例的功率模块的外观立体图。
图10是从图9的X-X线观察的剖视图。
图11是作为实施方式3的电子模块的一例的功率模块的外观立体图。
图12是从图11的XII-XII线观察的剖视图。
图13是用于检测图12所示的共集电极电极与绝缘层之间产生的剥离的故障检测电路的电路图。
图14是示出在图2所示的功率模块1中,在共集电极电极的X轴方向的两侧产生了剥离的情形的图。
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