[发明专利]光模块及测距装置有效

专利信息
申请号: 201780087497.7 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN110337604B 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 森永勇树;铃木大几 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;B81B3/00;G01C3/06;G01S7/481;G01S17/931;G02B26/10
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 模块 测距 装置
【说明书】:

本发明的目的在于提供一种能够精度良好地取得关于镜的摆角的信息的光模块、及具备这样的光模块的测距装置。本发明的光模块具备:支承部(2);可动部(3、4),其在支承部(2)上以可在轴线(X1、X2)周围摇动的方式被支承;镜(7),其设置于可动部(3、4);驱动用线圈(11、12),其设置于可动部(3、4);温度监测用元件(14),其设置于支承部(2);磁铁(30),其产生作用于驱动用线圈(11、12)的磁场。支承部(2)与磁铁(30)热连接。

技术领域

本发明之一方面涉及光模块及测距装置。

背景技术

作为光模块,已知有具备电磁驱动方式的MEMS(Micro Electro MechanicalSystems(微机电系统))镜的光模块,该镜在可动部设有驱动用线圈及电动势监测用线圈(例如,参照专利文献1、2)。在这种MEMS镜中,因为可动部在用于在驱动用线圈上产生洛伦兹力的磁铁的磁场中摇动,所以在设置于可动部的电动势监测用线圈上产生电动势。因此,基于在电动势监测用线圈上产生的电动势,能够取得设有镜的可动部的摆角、即与镜的摆角有关的信息。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2002-182136号公报

专利文献2:日本特开平10-90625号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

可是,在上述那样的光模块中,因为由磁铁产生的磁场的磁通密度会随着磁铁的温度而变化,所以当不考虑磁铁的温度时,就不能精度良好地取得与镜的摆角有关的信息。特别是在上述那样的光模块被应用于车载用测距装置的情况下,因为使用环境温度会大幅度地变化,随之而来的是,磁铁的温度会大幅度地变化,所以与镜的摆角有关的信息的精度有可能会显著变差。另外,即使在光模块不具备电动势监测用线圈的情况下,当不考虑磁铁的温度时,往往也不能精度良好地取得与镜的摆角有关的信息。

本发明之一方面的目的在于,提供一种光模块、及具备那种光模块的测距装置,其能够精度良好地取得与镜的摆角有关的信息。

解决问题的技术手段

本发明之一方面的光模块,具备:支承部;可动部,其在支承部上以可在轴线周围摇动的方式被支承;镜,其设置于可动部;驱动用线圈,其设置于可动部;温度监测用元件,其设置于支承部;磁铁,其产生作用于驱动用线圈的磁场,支承部与磁铁热连接。

在该光模块中,温度监测用元件设置在与磁铁热连接的支承部。由此,与例如温度监测用元件与驱动用线圈一同设置于可动部的情况相比,温度监测用元件的温度反映磁铁的温度。其理由是,例如,当温度监测用元件与驱动用线圈一同设置于可动部时,温度监测用元件受到驱动用线圈中的发热的影响,另外,形成于可动部和磁铁之间的空间成为热阻。因而,根据该光模块,能够基于温度监测用元件的检测值,在考虑了随着磁铁的温度而变化的磁铁的磁通密度以后,精度良好地取得与镜的摆角有关的信息。此外,所谓温度监测用元件的温度反映磁铁的温度,不限定于温度监测用元件的温度与磁铁的温度一致的情况,而是指温度监测用元件的温度以规定的关系(例如,以规定的温度差)追随磁铁的温度。

在本发明之一方面的光模块中,可动部也可以具有:在支承部上以可在第一轴线周围摇动的方式被支承的第一可动部、在支承部上以能够在与第一轴线交叉的第二轴线周围摇动的方式被支承的第二可动部,镜设置于第一可动部,第一可动部以可在第一轴线周围摇动的方式与第二可动部连结,第二可动部以能够在第二轴线周围摇动的方式与支承部连结。据此,能够使镜在第一轴线周围及第二轴线周围摇动。

在本发明之一方面的光模块中,驱动用线圈也可以具有设置于第一可动部的第一驱动用线圈。据此,通过在第一驱动用线圈上产生的洛伦兹力,能够驱动第一可动部。

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