[发明专利]表面被覆切削工具及其制造方法

权利要求书

1.一种表面被覆切削工具，包括基材以及形成在该基材的表面上的覆膜，

所述覆膜包括一层或两层或多层，

所述层中的至少一层为包含硬质颗粒的富Al层，

所述硬质颗粒具有氯化钠型晶体结构，并且包含多个团块形式的第一单元相以及介于所述第一单元相的所述团块之间的第二单元相，其中作为所述硬质颗粒内部的横截面结构，呈现出细线形式的所述第二单元相围绕着团块形式的所述第一单元相的形式，

所述第一单元相由Al_xTi_1-x的氮化物或碳氮化物组成，

所述第一单元相的Al的原子比x为0.7以上0.96以下，

所述第二单元相由Al_yTi_1-y的氮化物或碳氮化物组成，

所述第二单元相的Al的原子比y超过0.5并且小于0.7，

当通过X射线衍射在所述覆膜表面的法线方向上对所述富Al层进行分析时，所述富Al层在(220)面呈现最大峰。

2.根据权利要求1所述的表面被覆切削工具，其中所述硬质颗粒占所述富Al层的50体积％以上。

3.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述第一单元相在其100取向上的尺寸为2nm以上15nm以下。

4.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述覆膜的厚度为3μm以上30μm以下。

5.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述覆膜包括TiN层、TiC层、TiCN层或TiBN层作为下底层。

6.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述富Al层的厚度为1μm以上20μm以下。

7.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述富Al层的厚度为3μm以上15μm以下。

8.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述第一单元相在其100取向上的尺寸为2nm以上10nm以下。

9.根据权利要求1或2所述的表面被覆切削工具，其中所述硬质颗粒的粒径为10nm以上1000nm以下。

10.一种用于制造根据权利要求1所述的表面被覆切削工具的方法，所述表面被覆切削工具包括基材以及形成在该基材的表面上的覆膜，

所述覆膜包括一层或两层或多层，

所述层中的至少一层为包含硬质颗粒的富Al层，

当通过X射线衍射在所述覆膜表面的法线方向上对所述富Al层进行分析时，所述富Al层在(220)面呈现最大峰，所述方法包括以下步骤：

形成所述富Al层，

形成所述富Al层的步骤包括

通过CVD形成层状层的第一步骤，以及

使所述层状层退火以获得所述富Al层的第二步骤，

所述第二步骤包括升温步骤、退火步骤和冷却步骤，

所述升温步骤包括以10℃/min以上的速率升高所述层状层的温度的操作，

所述退火步骤包括在700℃以上1200℃以下对所述层状层退火0.1小时以上10小时以下，以获得所述富Al层的操作，

所述冷却步骤包括以20℃/min以上的速率对所述富Al层进行快速冷却的操作。