[发明专利]外观检查装置、外观检查方法

说明书

不直接向焊料(S)照射照射光(Li)，通过向基板(B)的表面(Bs)射出照射光(Li)，而向焊料(S)照射被该表面(Bs)反射的照射光(Li)。这样经由焊料(S)在表面(Bs)的反射而照射至焊料(S)的照射光(Li)与直接照射至焊料(S)的照射光(Li)不同，被陡斜面(Ss)反射之后入射至相机(5)。其结果，能够拍摄焊料(S)具有的陡斜面(Ss)。

技术领域

本发明涉及对接合于基板的焊料进行检查的外观检查技术。

背景技术

以往，为了判断接合于基板的焊料是否良好，使用从上方向焊料照射光并对被焊料反射的光进行拍摄的外观检查技术。例如，在专利文献1中，波长分别不同的光(红外、红、绿及蓝)以互不相同的角度从斜上方向焊料照射，与基板相向的相机对被焊料反射的光进行拍摄。此时，越是长波长的光，则向基板的入射角设定得越小，被焊料的斜面反射并入射至相机的光的波长根据该斜面的斜度而不同。其结果，焊料的斜面越平缓，则越拍摄到长波长的光。由此，能够基于拍摄焊料而成的图像求得焊料的形状。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-71844号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，专利文献1的外观检查装置中，直接向设置于基板的表面的焊料照射光，利用与基板的表面相向的相机对被焊料反射的光进行拍摄。在该结构中，如上所述，被比预定平缓的斜面反射的光入射至相机，另一方面，被比预定陡峭的斜面反射的光不能入射至相机。因此，如专利文献1所示那样，元件附近的焊料的陡斜面不能被相机拍摄而变暗。但是，为了判断焊料的状态为良，优选能够确认到元件附近的焊料湿润而形成陡斜面。因此，谋求能够对焊料具有的陡斜面进行拍摄的技术。

本发明是鉴于上述技术问题而提出的，其目的在于提供能够对焊料具有的陡斜面进行拍摄的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的外观检查装置具备：基板保持部，对基板进行保持，该基板具有设置有焊料接合位置的表面，在焊料接合位置接合有焊料；第一照射部，通过向基板的表面射出照射光，而向焊料照射被表面反射的照射光；拍摄部，与表面相向地拍摄焊料；及控制部，基于拍摄部拍摄焊料所得的结果来检查焊料的状态。

本发明的外观检查方法，具备以下工序：通过向在焊料接合位置接合有焊料的基板的表面射出照射光，而向焊料照射被表面反射的照射光；与基板的表面相向地拍摄焊料；及基于拍摄焊料所得的结果来检查焊料的状态。

这样构成的本发明(外观检查装置、外观检查方法)不直接向焊料照射照射光，而通过向基板的表面射出照射光，向焊料照射被该表面反射的照射光。这样经由基板的表面的反射照射至焊料的照射光与直接照射至焊料的照射光相比较，被陡斜面反射之后入射至拍摄部。其结果，能够对焊料具有的陡斜面进行拍摄。

另外，外观检查装置可以构成为，控制部基于对在拍摄部拍摄焊料所得的图像上是否存在亮度为预定的阈值亮度以上的部分进行确认的结果，来检查焊料的状态。也就是说，在焊料湿润而焊料具有陡斜面的情况下，被该陡斜面反射的光入射至拍摄部。因此，通过确认在拍摄焊料所得的图像具有预定以上亮度的部分，能够判断为焊料的状态良好。

另外，外观检查装置可以构成为，第一照射部向表面射出预定的投影图案作为照射光，拍摄部对被焊料反射的照射光具有的观测图案进行拍摄，控制部基于观测图案来求得焊料的形状。在该构成中，能够准确地求得焊料的形状。

具体地说，外观检查装置可以构成为，控制部基于投影图案与观测图案的形状的不同来求得焊料的形状。此时，外观检查装置可以构成为，投影图案具有隔开间隔地排列的颜色互不相同的多条线。在该构成中，即使在观测图案中相邻的线接近的情况下，也能够通过颜色的不同来区别这些线，所以能够准确地求得焊料的形状。